特開2019-164362平坦化された極端紫外線リソグラフィブランク及びそのための製造及びリソグラフィシステム

発明の名称　平坦化された極端紫外線リソグラフィブランク及びそのための製造及びリソグラフィシステム

出願人　アプライド　マテリアルズ　インコーポレイテッド　（識別番号 390040660）

　　　　特許公開件数ランキング 43 位（548件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 34 位（547件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2019-164362

公報発行日　2019年9月26

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2019-164362

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