発明の名称 付加製造プロセスを使用する、複合材料特性を有するCMPパッド構造
出願人 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド (識別番号 390040660)
特許公開件数ランキング 43 位(548件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 34 位(547件)(共同出願を含む)
公報番号 特開-2019-166633
公報発行日 2019年10月3
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-A-2019-166633
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