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特開2019-179754(P2019-179754A)
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特開
2019-179754
局所真空装置、荷電粒子装置、真空領域の形成方法及び荷電粒子の照射装置
書誌
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請求の範囲
詳細な説明
課題
実施例
実施するための形態
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