特開2019-201047クリーニング方法及び基板処理装置

発明の名称　クリーニング方法及び基板処理装置

出願人　東京エレクトロン株式会社　（識別番号 219967）

　　　　特許公開件数ランキング 36 位（601件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 20 位（798件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2019-201047

公報発行日　2019年11月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2019-201047

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