特開2019-208049方位角方向及び半径方向分布制御を備えたマルチゾーンガス注入アセンブリ

発明の名称　方位角方向及び半径方向分布制御を備えたマルチゾーンガス注入アセンブリ

出願人　アプライド　マテリアルズ　インコーポレイテッド　（識別番号 390040660）

　　　　特許公開件数ランキング 43 位（548件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 35 位（547件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2019-208049

公報発行日　2019年12月5

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2019-208049

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