技術分野
電子デバイス加工用テープに関し、特に、半導体ウエハのダイシング、ピックアップに使用される電子デバイス加工用テープおよび電子デバイス加工用テープの製造方法に関するものである。
要約特許出願時に添付された[要約書]
【課題】基材テープが薄肉化され、引っ張り強度が低下しても、カス部に大きな引き裂き部が発生することを防止して、円滑にカス部を引き剥がすことができる電子デバイス加工用テープを提供する。 【解決手段】剥離フィルム11と、基材フィルム14の主面に粘着剤層15が形成された基材テープ13を備えた電子デバイス加工用テープ2。前記基材テープ13が、搬送方向に所定の間隔にて形成され、ラベル部21と、カス部31と、その外縁と接した周辺部41と、を備え、前記カス部31の前記間隔部分にて、前記搬送方向の前後から伸延した、前記カス部31の外縁を形成するカット線が終端し、一方向から伸延した前記カット線の終端に、平面視曲部を有する切り込み部が形成されており、該切り込み部が、該曲部から前記周辺部の方向へ伸延した部位を有する電子デバイス加工用テープ2。 【選択図】図6
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
事情に鑑み、本発明は、基材テープが薄肉化され、または基材テープの材質によって引裂強度が低下しても、カス部に大きな引き裂き部が発生することを防止して円滑にカス部を引き剥がすことで、カス剥離部にカス部が残置されていることが防止された電子デバイス加工用テープおよび電子デバイス加工用テープの製造方法を提供することを目的とする。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明の要旨構成は、以下の通りである。
[1]剥離フィルムと、
基材フィルムの主面に粘着剤層が形成された基材テープであって、前記剥離フィルムと積層された基材テープと、を備えた電子デバイス加工用テープであって、
前記基材テープが、前記電子デバイス加工用テープの搬送方向に所定の間隔にて形成された、所定の平面視形状を有するラベル部と、該ラベル部の平面視外側を囲み、且つ前記所定の間隔を形成する間隔部・・・ 続きを
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【発明の効果】
本発明の態様によれば、カス部の間隔部分に、平面視曲部を有する切り込み部が形成されており、切り込み部が、曲部から周辺部の方向へ伸延した部位を有することにより、電子デバイス加工用テープから基材テープのカス部が引き剥がされる際にカス部に張力が負荷されても、カス部の外縁部から基材テープの中心線方向へ引き裂き部が発生することが防止される。カス部の外縁部から中心線方向への引き裂きの発生が防止されることにより、基材テープが薄肉化され、または基材テープに引っ張り強度が低下する材料が使用されても、カス部に大きな引き裂き部が発生することが防止される。よって、カス部の引き剥がしを円滑化することができるので、電子デバイス加工用テープのカス剥離部にカス部が残置されていることが防止される。
本発明の態様によれば、切り込み部の平面視曲部が、R0.25mm以上の曲率半径の円弧状曲線部となっている部位を有することにより、カス部の外縁部から中心線方向への引き裂きの発生がより確実に防止される。
電子デバイス加工用テープの搬送方向に対して直交方向における、切り込み部の円弧状曲線部の基点と切り込み部の周辺部の方向へ伸延した部位の先端との距離Lが、曲率半径の寸法に対して0.5以上の比率であることにより、カス部の外縁部から中心線方向への引き裂きの発生がより確実に防止される。
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】 本発明の実施形態例に係る電子デバイス加工用テープのカス上げ処理前における積層構造の概要を示す断面図である。
【図2】 本発明の実施形態例に係る電子デバイス加工用テープのカス上げ処理前における平面視の概要を示す説明図である。
【図3】 本発明の実施形態例に係る電子デバイス加工用テープのカス上げ処理前における平面視の概要を示す拡大図である。
【図4】 本発明の実施形態例に係る電子デバイス加工用テープにプリカット加工を実施する回転打ち抜き刃の概要を示す説明図である。
【図5】 本発明の実施形態例に係る電子デバイス加工用テープの使用方法例の説明図である。
【図6】 本発明の他の実施形態例に係る電子デバイス加工用テープのカス上げ処理前における積層構造の概要を示す断面図である。
1、2 電子デバイス加工用テープ
11 剥離フィルム
12 接着剤層
13 基材テープ
14 基材フィルム
15 粘着剤層
50 切り込み部
51 曲部
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