特開2019-210517スパッタリング装置及び成膜方法

発明の名称　スパッタリング装置及び成膜方法

出願人　株式会社アルバック　（識別番号 231464）

　　　　特許公開件数ランキング 783 位（30件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 527 位（45件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2019-210517

公報発行日　2019年12月12

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2019-210517

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特開-2019-210517「スパッタリング装置及び成膜方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録