【図1】図１は、本開示の一実施形態による成膜装置の構成の一例を示す断面図である。

【図2】図２は、本開示の一実施形態による制御方法の一例を説明する図である。

【図3】図３は、本開示の一実施形態による制御装置の構成の一例を示すブロック図である。

【図4】図４は、本開示の一実施形態による制御装置に含まれる飽和蒸気圧曲線データの一例を示す図である。

【図5】図５は、本開示の一実施形態による制御装置に含まれる飽和蒸気圧設定値の一例を示す図である。

【図6】図６は、本開示の一実施形態による制御装置に含まれる選択部の動作の一例を説明する図である。

【図7】図７は、本開示の一実施形態による制御装置に含まれる算出部の動作の一例を説明する図である。

【図8】図８は、本開示の一実施形態によるに係る制御方法の処理手順の一例を示すフローチャートである。

【図9】図９は、本開示の一実施形態によるに係る成膜方法の処理手順の一例を示すフローチャートである。

【図10】図１０は、本開示の一実施形態の変形例による制御装置の構成の一例を示すブロック図である。

【図11】図１１は、本開示の一実施形態の変形例による制御方法の処理手順の一例を示すフローチャートである。

【図12】図１２は、本開示の一実施形態による制御方法の第１の実施例を説明する図である。

【図13】図１３は、本開示の一実施形態による制御方法の第２の実施例を説明する図である。

【図14】図１４は、本開示の一実施形態による制御方法の第３の実施例を説明する図である。

【図15】図１５は、制御装置の機能を実現するコンピュータの一例を示すハードウェア構成図である。