特開2019-219338(P2019-219338A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】特開2019-219338(P2019-219338A)
(43)【公開日】2019年12月26日
(54)【発明の名称】トランスデューサ型真空計
(51)【国際特許分類】
   G01L 21/32 20060101AFI20191129BHJP
【FI】
   G01L21/32
【審査請求】未請求
【請求項の数】5
【出願形態】OL
【全頁数】10
(21)【出願番号】特願2018-118564(P2018-118564)
(22)【出願日】2018年6月22日
(71)【出願人】
【識別番号】000231464
【氏名又は名称】株式会社アルバック
(74)【代理人】
【識別番号】110000305
【氏名又は名称】特許業務法人青莪
(72)【発明者】
【氏名】中島 豊昭
(72)【発明者】
【氏名】宮下 剛
(72)【発明者】
【氏名】福原 万沙洋
(72)【発明者】
【氏名】佐藤 貴伸
【テーマコード(参考)】
2F055
【Fターム(参考)】
2F055AA15
2F055BB08
2F055CC47
2F055DD20
2F055EE40
2F055FF43
2F055GG25
(57)【要約】
【課題】測定対象物に対するセンサ部の位置を変えることなく、測定対象物の接続ポートに対する本体の取付姿勢が可変なトランスデューサ型真空計を提供する。
【解決手段】真空チャンバVcの接続ポートCpに装着可能な本体B1を備える本発明のトランスデューサ型真空計IGは、本体内に、センサ部2と、真空チャンバVc内の圧力に応じたセンサ部の出力変化を検出する検出部3と、センサ部と検出部とを制御する制御部品4とを設け、本体は、第1筐体B11と第2筐体B12とに分けて構成され、真空チャンバに装着される第1筐体が少なくともセンサ部を内蔵し、第1筐体に対する第2筐体の姿勢を変更する姿勢変更手段としての接続部14a,14bを更に備える。
【選択図】図1
【特許請求の範囲】
【請求項1】
測定対象物に装着可能な本体を備えるトランスデューサ型真空計であって、
本体内に、センサ部と、測定対象物の圧力に応じたセンサ部の出力変化を検出する検出部と、センサ部と検出部とを制御する制御部品とを設けたものにおいて、
本体は、第1筐体と第2筐体とに分けて構成され、
測定対象物に装着される第1筐体が少なくともセンサ部を内蔵し、第1筐体に対する第2筐体の姿勢を変更する姿勢変更手段を更に備えることを特徴とするトランスデューサ型真空計。
【請求項2】
前記姿勢変更手段は、前記第2筐体の面積の異なる少なくとも2面に設けられる、第1筐体内の前記センサ部とのコネクタ接続を可能とする接続部であり、
各接続部に検出部が夫々直付けされ、いずれかの接続部を選択して前記第1筐体のセンサ部と接続部とをコネクタ接続すると、前記第1筐体に対する前記第2筐体の姿勢が変更されるように構成したことを特徴とする請求項1記載のトランスデューサ型真空計。
【請求項3】
前記第1筐体に前記検出部を更に備え、
前記姿勢変更手段は、前記第1筐体の少なくとも2面に設けられる、前記第2筐体との連結を可能とする連結部であり、いずれかの連結部を選択して前記第1筐体に前記第2筐体を連結すると、前記第1筐体に対する前記第2筐体の姿勢が変更されるように構成したことを特徴とする請求項1記載のトランスデューサ型真空計。
【請求項4】
前記第1筐体に検出部を更に備え、
前記姿勢変更手段は、前記第1筐体と前記第2筐体との間に介設される、第1筐体に対する第2筐体の揺動を可能とするヒンジで構成されることを特徴とする請求項1記載のトランスデューサ型真空計。
【請求項5】
前記第1筐体に検出部を更に備え、
前記姿勢変更手段は、前記第1筐体と前記第2筐体との間に介設される、第1筐体を支点にした屈曲動作が可能な蛇腹管で構成されることを特徴とする請求項1記載のトランスデューサ型真空計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、真空チャンバ等の測定対象物内の圧力を測定するトランスデューサ型真空計に関する。
【背景技術】
【0002】
この種のトランスデューサ型真空計は例えば特許文献1で知られている。このものは、真空チャンバ等の測定対象物に装着可能な本体(筐体)内に、センサ部と、測定対象物の圧力に応じたセンサ部の出力変化(例えば、微小電流)を検出する検出部と、センサ部と検出部とを制御する制御部品とを一体に組み付けて構成され、センサ部を内蔵する本体の部分を介して測定対象物に予め設けられた接続ポートに取り付けられて、気密保持された測定対象物内の圧力(真空度)を測定する。これにより、検出部にて、微小電流などのセンサ部の出力変化を検出するときにノイズの影響を受け難くでき、この種のトランスデューサ型真空計は、より正確な圧力測定ができるといった利点がある。
【0003】
ここで、この種のトランスデューサ型真空計は、一般に、センサ部に電力を供給するための電源及び、電源の作動や検出部からの出力を圧力に換算する処理などを統括制御する制御部などの制御部品が検出部と共に1枚の回路基板に実装され、この状態で本体内に格納されている。このため、本体は一方向に長手の直方体状とならざるを得ず、測定対象物に装着すると、本体の長さだけ、測定対象物から一方向に延出した状態となる。
【0004】
一方、測定対象物が種々の真空プロセスを実施する真空チャンバであるような場合、真空チャンバの外壁面には、電力供給用の配線、冷却水等の供給管、ガス供給管や排気管といった種々の構成部品が設けられている。このため、真空チャンバに予め設けられる接続ポートの位置によっては、構成部品に干渉して本体を取り付けできない場合が生じる。このような場合、接続ポートにL字官などの継手を追加し、この継手に本体の部分を取り付けることで、本体が延出する方向を変える(即ち、本体の取付姿勢を変える)ことが一般に行われている(例えば、特許文献2参照)。然し、接続ポート周辺における構成部品の配置に応じて、適切な形状、長さの継手を準備して本体を取り付けるのでは、その作業が煩雑である。また、継手を介在させると、測定対象物に対するセンサ部の位置が変化し、場合によっては、トランスデューサ型真空計で検出した圧力は、必ずしも測定対象物の圧力を指示しているとは限らないという問題が生じる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】国際公開第2011/099238号
【特許文献2】特開2017−172380号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
本発明は、以上の点に鑑み、測定対象物に対するセンサ部の位置を変えることなく、測定対象物の接続ポートに対する本体の取付姿勢が可変なトランスデューサ型真空計を提供することをその課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記課題を解決するために、測定対象物に装着可能な本体を備える本発明のトランスデューサ型真空計は、本体内に、センサ部と、測定対象物の圧力に応じたセンサ部の出力変化を検出する検出部と、センサ部と検出部とを制御する制御部品とを設け、本体は、第1筐体と第2筐体とに分けて構成され、測定対象物に装着される第1筐体が少なくともセンサ部を内蔵し、第1筐体に対する第2筐体の姿勢を変更する姿勢変更手段を更に備えることを特徴とする。
【0008】
本発明によれば、少なくともセンサ部を内蔵するだけで比較的にサイズを小さくできる第1筐体と、制御部品を格納するために比較的にサイズを大きくせざるを得ない第2筐体とに分け、姿勢変更手段を備える構成を採用することで、接続ポート周辺における構成部品の配置に応じて本体の取付姿勢を変えることができる。このとき、比較的サイズの小さい第1筐体は、継手の利用せずに接続ポートに取り付けられるため、接続ポートに対するセンサ部自体の位置が常時一定になり、トランスデューサ型真空計で検出した圧力が、必ずしも測定対象物の圧力を指示しているとは限らないといった不具合も生じない。
【0009】
本発明において、測定対象物に対するセンサ部の位置を変えることなく、接続ポートに対する本体の取付姿勢が可変な構成を実現するために、本発明の第1の形態では、前記姿勢変更手段は、前記第2筐体の面積の異なる少なくとも2面に設けられる、第1筐体内の前記センサ部とのコネクタ接続を可能とする接続部であり、各接続部に検出部が夫々直付けされ、いずれかの接続部を選択して前記第1筐体のセンサ部と接続部とをコネクタ接続すると、前記第1筐体に対する前記第2筐体の姿勢が変更される。また、本発明の第2の形態では、前記第1筐体に前記検出部を更に備え、前記姿勢変更手段は、前記第1筐体の少なくとも2面に設けられる、前記第2筐体との連結を可能とする連結部であり、いずれかの連結部を選択して前記第1筐体に前記第2筐体を連結すると、前記第1筐体に対する前記第2筐体の姿勢が変更される。
【0010】
本発明の第3の形態では、前記第1筐体に検出部を更に備え、前記姿勢変更手段は、前記第1筐体と前記第2筐体との間に介設される、第1筐体に対する第2筐体の揺動を可能とするヒンジで構成される。また、本発明の第4の形態では、前記第1筐体に検出部を更に備え、前記姿勢変更手段は、前記第1筐体と前記第2筐体との間に介設される、第1筐体を支点にした屈曲動作が可能な蛇腹管で構成される。
【図面の簡単な説明】
【0011】
図1】本発明の第1実施形態のトランスデューサ型真空計を模式的に示す図。
図2】本発明の第2実施形態のトランスデューサ型真空計を模式的に示す図。
図3】本発明の第3実施形態のトランスデューサ型真空計を模式的に示す図。
図4】本発明の第4実施形態のトランスデューサ型真空計を模式的に示す図。
【発明を実施するための形態】
【0012】
以下、図面を参照して、測定対象物を真空チャンバVcとし、この真空チャンバVcに予め設けられた接続ポートCpに取り付けられるBA真空計を例に本発明のトランスデューサ型真空計の実施形態について説明する。尚、特に図示して説明しないが、、真空チャンバVcの外壁面には、電力供給用の配線、冷却水等の供給管、ガス供給管や排気管といった種々の構成部品が接続されている。
【0013】
図1を参照して、IGは、本発明の第1実施形態に係るトランスデューサ型のBA真空計である。BA真空計IGは、接続ポートCpに着脱自在に取り付けられる第1筐体B11と、第1筐体B11に取り付けられる第2筐体B12とに分けて構成された本体B1を備える。第1筐体B11は、取付方向先端に、接続ポートCpに接合可能な取付フランジ11aを備える円筒体で構成され、その内部にはセンサ部2のみが組み込まれている。センサ部2としては、細線で構成されるイオンコレクタ21と、イオンコレクタ21を囲うように配置されるグリッド22と、グリッド22の周囲に配置されるフィラメント23とで構成される。この場合、第1筐体B11内には、図示省略の絶縁性の第1支持台が設けられ、第1支持台には、接続端子兼用の支持ピン24a〜24eが貫設され、各支持ピン24a〜24eによりイオンコレクタ21、グリッド22及びフィラメント23が夫々位置決め支持されるようになっている。この場合、第1筐体B11には、センサ部2のみを設けるため、第1筐体B11はサイズの小さいもので済む。
【0014】
一方、第2筐体B12は、直方体状の輪郭を持つ角筒体で構成され、その内部には、センサ部2の出力変化を検出する検出部3a,3bと、センサ部2と検出部3a,3bとを制御する制御部品4とが格納されている。検出部3a,3bは、センサ部2からの出力を増幅することができる図示省略の信号増幅回路を有することが好ましい。仮に、フラットケーブルを経た後に信号の増幅を行う構成とすると、信号が減衰したりノイズの影響を受けやすい構成となってしまい、真空計としての性能を損ねてしまう。よって、検出部3a,3bにおいて増幅や変調を行うことで、センサ部2からの微弱な信号をより正確に検出及び電送することが可能となる。制御部品4は、センサ部2と検出部3a,3b以外の部品であって、センサ部2に電力供給し、検出部3a,3bにてセンサ部2の出力変化を検出し、この検出した出力から測定対象物の圧力を算出する一連の処理を行うために設けられるものであり、例えば、センサ部2に電力を供給するための電源41や、マイクロコンピュータやメモリなどを持つ制御部42などが含まれる。そして、制御部品4の各々は、回路基板40に実装された状態で第2筐体B12内に格納される。この場合、第2筐体B12は、回路基板40を格納するため、第1筐体B11と比較してサイズの大きいものが必要となる。検出部3a,3bと回路基板40とは、例えばフラットケーブル43a,43bにより電気的に接続される。なお、検出部3a,3bや制御部品4については、公知のものが利用されるため、真空チャンバVc内の圧力測定の方法、手順を含め、これ以上の構成や動作に関する詳細な説明を省略する。
【0015】
また、本体B1には、接続ポートCpへの取付姿勢を変更する姿勢変更手段が設けられている。第1実施形態における姿勢変更手段は、第2筐体B12の面積の異なる少なくとも2面12a,12bに夫々設けられた2個の接続部13a,13bで構成される。各接続部13a,13bは、第1筐体B11の取付方向後端が嵌着される環状の受入れ突起を備え、その内側には、受入れ突起の内部空間を第2筐体B12内から隔絶する、図示省略の絶縁性の第2支持台が設けられている。第2支持台には、センサ部2の支持ピン24a〜24eが夫々差し込まれるソケット部が突設され、センサ部2と接続部13a,13bとがコネクタ接続できるようになっている。この場合、特に図示して説明しないが、受入れ突起に第1筐体B11の取付方向後端が嵌着されると、Oリング等の真空シールにより気密保持されて真空チャンバVc内の圧力測定に影響が出ないようにしている。また、各接続部13a,13bのソケット部には、第2筐体B12内に位置させて検出部3a,3bが夫々直付けされ、センサ部2の出力変化を検出部3a,3bで可及的速やかに検出できるようにしている。各検出部3a,3bは、例えばフラットケーブル43a,43bにより回路基板40に電気的に接続されている。
【0016】
第1実施形態のBA真空計IGを真空チャンバVcの接続ポートCpに取り付けるのに際しては、先ず、第1筐体B11の取付フランジ11aを真空チャンバVcの接続ポートCpに接合させ、この状態で、例えば公知のクランプを利用して両者を固定する。次に、真空チャンバVcの外壁面に設けられる各構成部品の配置を考慮して、第2筐体B12に設けられる接続部13a,13bの中から、一の接続部13aを選択する。そして、一の接続部13aの受入れ突起に第1筐体B11を嵌着する。このとき、支持ピン24a〜24eがソケット部に夫々差し込まれて、センサ部2と接続部13a,13bとがコネクタ接続される。最後に、他の接続部13bに図示省略の蓋体が装着される。
【0017】
以上によれば、センサ部2を内蔵するだけで比較的にサイズを小さくできる第1筐体B11と、制御部品4を格納するために比較的にサイズを大きくせざるを得ない第2筐体B12とに分け、姿勢変更手段としての接続部13a,13bを備える構成を採用することで、真空チャンバVcの外壁面に設けられる各構成部品の配置を考慮して、いずれかの接続部13a,13bを選択すれば、本体B1の取付姿勢を図1(a)に示す姿勢と図1(b)に示す姿勢との間で変えることができる。このとき、比較的サイズの小さい第1筐体B11は、継手を利用せずに接続ポートCpに取り付けられるため、接続ポートCpに対するセンサ部2自体の位置が常時一定にでき、BA真空計IGで検出した圧力が、必ずしも真空チャンバVc内の圧力を指示しているとは限らないといった不具合も生じない。
【0018】
次に、図2を参照して、IGは、本発明の第2実施形態に係るトランスデューサ型のBA真空計である。以下においては、上記第1実施形態と同一の部材、要素については同一の符号を用いるものとし、これらの説明は省略する。BA真空計IGは、接続ポートCpに着脱自在に取り付けられる第1筐体B21と、第1筐体B21に取り付けられる第2筐体B22とに分けて構成された本体B2を備える。第2実施形態では、第1筐体B21は、取付フランジ11aを備える円筒体110に箱体111を連接して構成されている。この場合、円筒体110と箱体111との連接箇所には図示省略の絶縁性の支持台が気密保持した状態で設けられ、円筒体110と箱体111とが互いに隔絶されるようにしている。また、支持台には、上記第1実施形態と同様に、接続端子兼用の支持ピン24a〜24eが貫設され、各支持ピンによりイオンコレクタ21、グリッド22及びフィラメント23が夫々位置決め支持されるようになっている。そして、箱体111内に突出する支持ピン24a〜24eの部分が、箱体111内に設けられる検出部3に接続されている。
【0019】
一方、第2筐体B22は、直方体状の輪郭を持つ角筒体で構成され、その内部には制御部品4が回路基板40に実装された状態で格納されている。また、第2実施形態における姿勢変更手段は、箱体111の面積の異なる少なくとも2面111a,111bに夫々設けられた2個の連結部14a,14bで構成される。各連結部14a,14bは、メス側コネクタで構成され、第2筐体B22の取り付け方向前側の面に設けられた図示省略のオス側コネクタが接続されるようになっている。各連結部14a,14bは、例えばフラットケーブル44a,44bにより検出部3に電気的に接続され、また、上記オス側コネクタは、例えばフラットケーブル45により回路基板40に電気的に接続されている。
【0020】
第2実施形態のBA真空計IGを真空チャンバVcの接続ポートCpに取り付けるのに際しては、先ず、第1筐体B21の取付フランジ11aを真空チャンバVcの接続ポートCpに接合させ、この状態で、例えば公知のクランプを利用して両者を固定する。次に、真空チャンバVcの外壁面に設けられる各構成部品の配置を考慮して、箱体111に設けられる連結部14a,14bの中から、一の連結部14aを選択する。そして、一の連結部14aに第2筐体B21のオス側コネクタを接続する。最後に、他の連結部14bに図示省略する蓋体が装着され、連結部14bに起因したノイズが発生しないようにしている。
【0021】
以上によれば、センサ部2と検出部3を内蔵するだけで比較的にサイズを小さくできる第1筐体B21と、制御部品4を格納するために比較的にサイズを大きくせざるを得ない第2筐体B22とに分け、姿勢変更手段としての連結部14a,14bを備える構成を採用することで、真空チャンバVcの外壁面に設けられる各構成部品の配置を考慮して、いずれかの連結部14a,14bを選択すれば、本体B2の取付姿勢を図2中に実線で示す姿勢と仮想線で示す姿勢との間で変えることができる。このとき、比較的サイズの小さい第1筐体B21は、継手の利用せずに接続ポートCpに取り付けられるため、接続ポートCpに対するセンサ部2自体の位置が常時一定にでき、BA真空計IGで検出した圧力が、必ずしも真空チャンバVc内の圧力を指示しているとは限らないといった不具合も生じない。
【0022】
次に、図3を参照して、IGは、本発明の第3実施形態に係るトランスデューサ型のBA真空計である。以下においては、上記第1及び第2実施形態と同一の部材、要素については同一の符号を用いるものとし、これらの説明は省略する。BA真空計IGは、接続ポートCpに着脱自在に取り付けられる第1筐体B31と、第1筐体B31に取り付けられる第2筐体B32とに分けて構成された本体B3を備える。第3実施形態では、第1筐体B31は、円筒体110に箱体112を連接して構成されている。円筒体110と箱体112との連接箇所には、上記第2実施形態と同様に、図示省略の絶縁性の支持台が設けられ、筒体110と箱体112とが互いに隔絶されるようにしている。この支持台には、上記第1実施形態と同様に、接続端子兼用の支持ピン24a〜24eが貫設され、各支持ピンによりイオンコレクタ21、グリッド22及びフィラメント23が夫々位置決め支持されるようになっている。そして、箱体112内に突出する支持ピン24a〜24eの部分が、箱体112内に設けられる検出部3に接続されている。尚、箱体112の取り付け方向後方部分は面取りされており、後述する第2筐体B32を揺動する際に接触しないようにしている。
【0023】
一方、第2筐体B32は、上記第2実施形態と同様に、直方体状の輪郭を持つ角筒体で構成され、その内部には、制御部品4が回路基板40に実装された状態で格納されている。また、第3実施形態における姿勢変更手段は、第1筐体B31と第2筐体B32との間に介設されるヒンジ15で構成され、第1筐体11に対して第2筐体12の揺動を可能としている。ヒンジ15としては、図3に示すものに限らず、公知のものを用いることができるため、ここでは詳細な説明を省略する。尚、検出部3は、例えばフラットケーブル46により回路基板40に電気的に接続されている。
【0024】
第3実施形態のBA真空計IGを真空チャンバVcの接続ポートCpに取り付けるのに際しては、先ず、第1筐体B31の取付フランジ11aを真空チャンバVcの接続ポートCpに接合させ、この状態で、例えば公知のクランプを利用して両者を固定する。このとき、真空チャンバVcの外壁面に設けられる各構成部品の配置を考慮して、箱体112に対して第2筐体B32を揺動させれば、姿勢が変わる。
【0025】
以上によれば、センサ部2と検出部3を内蔵するだけで比較的にサイズを小さくできる第1筐体B31と、制御部品4を格納するために比較的にサイズを大きくせざるを得ない第2筐体B32とに分け、姿勢変更手段としてのヒンジ15を備える構成を採用することで、真空チャンバVcの外壁面に設けられる構成部品の配置に応じて第1筐体B31に対して第2筐体B32を揺動すれば、本体B3の取付姿勢を図3中に実線で示す姿勢と仮想線で示す姿勢との間で変えることができる。このとき、比較的サイズの小さい第1筐体B31は、継手を利用せずに接続ポートCpに取り付けられるため、接続ポートCpに対するセンサ部2自体の位置が常時一定にでき、BA真空計IGで検出した圧力が、必ずしも真空チャンバVc内の圧力を指示しているとは限らないといった不具合も生じない。
【0026】
次に、図4を参照して、IGは、本発明の第4実施形態に係るトランスデューサ型のBA真空計である。以下においては、上記第1〜第3実施形態と同一の部材、要素については同一の符号を用いるものとし、これらの説明は省略する。BA真空計IGは、接続ポートCpに着脱自在に取り付けられる第1筐体B41と、第1筐体B41に取り付けられる第2筐体B42とに分けて構成された本体B4を備える。第4実施形態では、第1筐体B41は、円筒体110に箱体113を連接して構成されている。円筒体110と箱体113との連接箇所には、上記第2実施形態と同様に、図示省略の絶縁性の支持台が設けられ、筒体110と箱体113とが互いに隔絶されるようにしている。
【0027】
一方、第2筐体B42は、上記第2実施形態と同様に、直方体状の輪郭を持つ角筒体で構成され、その内部には、制御部品4が回路基板40に実装された状態で格納されている。また、第4実施形態における姿勢変更手段は、第1筐体B41と第2筐体B42との間に介設される、第1筐体B41を支点にした屈曲動作が可能な蛇腹管16で構成されている。蛇腹管16としては、公知のものを用いることができるため、ここでは詳細な説明を省略する。尚、検出部3は、例えばフラットケーブル47により回路基板40に電気的に接続されている。
【0028】
第4実施形態のBA真空計IGを真空チャンバVcの接続ポートCpに取り付けるのに際しては、先ず、第1筐体B41の取付フランジ11aを真空チャンバVcの接続ポートCpに接合させ、この状態で、例えば公知のクランプを利用して両者を固定する。次に、真空チャンバVcの外壁面に設けられる各構成部品の配置を考慮して、第1筐体B41を支点として蛇腹管16を屈曲させれば、姿勢が変わる。
【0029】
以上によれば、センサ部2と検出部3を内蔵するだけで比較的にサイズを小さくできる第1筐体B41と、制御部品4を格納するために比較的にサイズを大きくせざるを得ない第2筐体B42とに分け、姿勢変更手段としての蛇腹管16を備える構成を採用することで、真空チャンバVcの外壁面に設けられる構成部品の配置に応じて第1筐体B41を支点として蛇腹管16を屈曲させれば、本体B4の取付姿勢を図4中に実線で示す姿勢と仮想線で示す姿勢との間で変えることができる。このとき、比較的サイズの小さい第1筐体B41は、継手の利用せずに接続ポートCpに取り付けられるため、接続ポートCpに対するセンサ部2自体の位置が常時一定にでき、BA真空計IGで検出した圧力が、必ずしも真空チャンバVc内の圧力を指示しているとは限らないといった不具合も生じない。
【0030】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明の技術思想の範囲を逸脱しない限り、種々の変形が可能である。上記実施形態では、制御部品4として電源41や制御部42を例示して説明したが、制御部品4として他の部品が含まれていてもよく、制御部品4の数が多いほど回路基板40ひいては第2筐体のサイズが大きくなるため、本発明をより好適に適用することができる。
【0031】
また、上記実施形態では、BA真空計を例に説明したが、BA真空計以外のトランスデューサ型真空計に対しても本発明を当然に適用することができる。
【0032】
また、上記第1実施形態では、第2筐体B11が角筒体で構成される場合を例に説明したが、円筒体で構成することもできる。この場合、円筒体の底面と外周面とに接続部としての接続ポートを設ければよい。
【符号の説明】
【0033】
IG,IG,IG,IG…BA真空計(トランスデューサ型真空計)、B1,B2,B3,B4…本体、B11,B21,B31,B41…第1筐体、B12,B22,B32,B42…第2筐体、13a,13b…接続部(姿勢変更手段)、14a,14b…連結部(姿勢変更手段)、15…ヒンジ(姿勢変更手段)、16…蛇腹管(姿勢変更手段)、2…センサ部、3,3a,3b…検出部、4…制御部品。
図1
図2
図3
図4