特開2019-220623シャワーヘッドおよびプラズマ処理装置

発明の名称　シャワーヘッドおよびプラズマ処理装置

出願人　東京エレクトロン株式会社　（識別番号 219967）

　　　　特許公開件数ランキング 33 位（217件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 24 位（227件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2019-220623

公報発行日　2019年12月26

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2019-220623

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