シャワーヘッドおよびプラズマ処理装置

要約特許出願時に添付された[要約書]

【課題】処理ガスによる腐食およびプラズマに対する耐久性により優れたシャワーヘッドおよびプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】基板にプラズマ処理を施すプラズマ処理装置において、チャンバー内に、処理ガスを供給するシャワーヘッドは、処理ガスを吐出する複数のガス吐出孔を有する本体部と、本体部内に設けられ、処理ガスが導入され、複数のガス吐出孔に連通するガス拡散空間とを備え、本体部は、金属からなる基材と、基材に嵌め込まれ、複数のガス吐出孔を規定する複数のスリーブと、基材のガス拡散空間に接する面に、処理ガスに対する耐食性を有する材料を溶射して形成され、含浸材が含浸された第１の溶射皮膜と、基材の前記チャンバーのプラズマ生成空間に接する面に、処理ガスのプラズマに対する耐プラズマ性を有する材料を溶射して形成され、含浸材が含浸された第２の溶射皮膜とを有する。
【選択図】図２

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