特開2020-105558(P2020-105558A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2020-105558スパッタリングターゲット部材、スパッタリングターゲット部材の製造方法、スパッタリングターゲット、スパッタ膜、スパッタ膜の製造方法、膜体、積層構造体、及び有機EL装置
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