特開2020-123726(P2020-123726A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2020-123726基板を真空処理するための装置、基板を真空処理するためのシステム、及び、真空チャンバ内で基板キャリアとマスクキャリアを搬送するための方法
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