特開2020-151899(P2020-151899A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2020-151899圧電体薄膜素子、液体吐出ヘッド、ヘッドモジュール、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置及び圧電体薄膜素子の製造方法