特開2020-204050透明導電膜の製造方法、透明導電膜、及びスパッタリングターゲット

発明の名称　透明導電膜の製造方法、透明導電膜、及びスパッタリングターゲット

出願人　株式会社アルバック　（識別番号 231464）

　　　　特許公開件数ランキング 783 位（30件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 528 位（45件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2020-204050

公報発行日　2020年12月24

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2020-204050

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