特開2020-35871(P2020-35871A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2020-35871マルチビーム用アパーチャセット、マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法
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