特開2020-38874(P2020-38874A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2020-38874シリコン試料の炭素濃度評価方法、シリコンウェーハ製造工程の評価方法、シリコンウェーハの製造方法およびシリコン単結晶インゴットの製造方法
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  • 特開2020038874-シリコン試料の炭素濃度評価方法、シリコンウェーハ製造工程の評価方法、シリコンウェーハの製造方法およびシリコン単結晶インゴットの製造方法 図000003
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