特開2020-77785(P2020-77785A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」

▶ 東京エレクトロン株式会社の特許一覧

特開2020-77785基板支持器、プラズマ処理装置、及びフォーカスリング
<>
  • 特開2020077785-基板支持器、プラズマ処理装置、及びフォーカスリング 図000003
  • 特開2020077785-基板支持器、プラズマ処理装置、及びフォーカスリング 図000004
  • 特開2020077785-基板支持器、プラズマ処理装置、及びフォーカスリング 図000005
  • 特開2020077785-基板支持器、プラズマ処理装置、及びフォーカスリング 図000006
  • 特開2020077785-基板支持器、プラズマ処理装置、及びフォーカスリング 図000007
  • 特開2020077785-基板支持器、プラズマ処理装置、及びフォーカスリング 図000008
  • 特開2020077785-基板支持器、プラズマ処理装置、及びフォーカスリング 図000009
< >