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特開2020-79195(P2020-79195A)
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特開
2020-79195
窒素ドープされた空孔優勢であるシリコンインゴット、およびそれから形成された半径方向に均一に分布した酸素析出の密度およびサイズを有する熱処理されたウエハ
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