特開 2021-105149 樹脂フィルムの製造方法及び金属張積層板の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】特開2021-105149(P2021-105149A)

(43)【公開日】2021年7月26日

(54)【発明の名称】樹脂フィルムの製造方法及び金属張積層板の製造方法

(51)【国際特許分類】

   C08J 5/18 20060101AFI20210625BHJP

   B32B 15/08 20060101ALI20210625BHJP

   H05K 1/03 20060101ALI20210625BHJP

【ＦＩ】

   C08J5/18

   B32B15/08 Q

   H05K1/03 610N

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

【全頁数】20

(21)【出願番号】特願2019-238110(P2019-238110)

(22)【出願日】2019年12月27日

(71)【出願人】

【識別番号】000006644

【氏名又は名称】日鉄ケミカル＆マテリアル株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100115118

【弁理士】

【氏名又は名称】渡邊 和浩

(74)【代理人】

【識別番号】100095588

【弁理士】

【氏名又は名称】田治米 登

(74)【代理人】

【識別番号】100094422

【弁理士】

【氏名又は名称】田治米 惠子

(74)【代理人】

【識別番号】110000224

【氏名又は名称】特許業務法人田治米国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】藤 麻織人

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 智之

(72)【発明者】

【氏名】西山 哲平

【テーマコード（参考）】

4F071

4F100

【Ｆターム（参考）】

4F071AA48

4F071AA60

4F071AA88

4F071AA89

4F071AD02

4F071AF12

4F071AF40Y

4F071AF53Y

4F071AH13

4F071BA03

4F071BB02

4F071BC01

4F071BC02

4F071BC12

4F100AB01A

4F100AB17A

4F100AB33A

4F100AH02B

4F100AH07B

4F100AK01B

4F100AK41B

4F100AK46B

4F100AK49B

4F100AK54B

4F100AS00B

4F100BA02

4F100BA07

4F100BA10B

4F100DE04B

4F100EH46B

4F100EJ15

4F100EJ86B

4F100GB43

4F100JA04B

4F100JA13B

4F100JB11B

4F100JG04B

4F100JG05B

4F100YY00B

(57)【要約】

【課題】樹脂フィルム中に分散された異種の有機ポリマー粒子の過度な凝集が抑制されており、外観及び表面平滑性が良好な樹脂フィルムを提供する。
【解決手段】 溶剤と、溶剤に溶解する可溶性樹脂と、溶剤に不溶な有機ポリマー粒子と、を含む樹脂組成物を準備する工程と、この樹脂組成物を熱処理し、可溶性樹脂の固化物中に有機ポリマー粒子を含有する樹脂フィルムを得る工程と、を含む樹脂フィルムの製造方法。熱処理が、（ａ）前記有機ポリマー粒子の融点をＴｘ［単位；℃］とし、前記熱処理の最高到達温度をＴｍａｘ［単位；℃］とした場合、Ｔｘ≦Ｔｍａｘの関係にあること、（ｂ）前記熱処理におけるＴｍａｘまでの昇温過程で温度がＴｘ−４０℃のときに前記樹脂組成物に含まれる揮発成分の含有量が、前記樹脂組成物の不揮発成分の含有量に対して０．５重量％以下であることを満たす
【選択図】なし

【特許請求の範囲】

【請求項1】

樹脂フィルムの製造方法であって、
溶剤と、前記溶剤に溶解する可溶性樹脂と、前記溶剤に不溶な有機ポリマー粒子と、を含む樹脂組成物を準備する工程と、
前記樹脂組成物を熱処理し、前記可溶性樹脂の固化物中に前記有機ポリマー粒子を含有する樹脂フィルムを得る工程と、
を含み、
前記熱処理が、下記の条件（ａ）及び（ｂ）；
（ａ）前記有機ポリマー粒子の融点をＴｘ［単位；℃］とし、前記熱処理の最高到達温度をＴｍａｘ［単位；℃］とした場合、下記式（１）の関係にあること；
Ｔｘ≦Ｔｍａｘ ・・・（１）
（ｂ）前記熱処理におけるＴｍａｘまでの昇温過程で温度がＴｘ−４０℃のときに前記樹脂組成物に含まれる揮発成分の含有量が、前記樹脂組成物の不揮発成分の含有量に対して０．５重量％以下であること；
を満たすことを特徴とする樹脂フィルムの製造方法。

【請求項2】

前記可溶性樹脂が、ポリアミド、ポリイミド、ポリエステル、ポリエーテル及びそれらの前駆体から選ばれる少なくとも１種である請求項１に記載の樹脂フィルムの製造方法。

【請求項3】

前記有機ポリマー粒子が液晶ポリマーからなる請求項１又は２に記載の樹脂フィルムの製造方法。

【請求項4】

前記Ｔｘが２４０℃以上である請求項１〜３のいずれか１項に記載の樹脂フィルムの製造方法。

【請求項5】

前記溶剤の沸点が前記Ｔｘ以下である請求項１〜４のいずれか１項に記載の樹脂フィルムの製造方法。

【請求項6】

前記樹脂フィルムの不揮発性成分に対する前記有機ポリマー粒子の占める割合が５〜９９体積％の範囲内である請求項１〜５のいずれか１項に記載の樹脂フィルムの製造方法。

【請求項7】

前記樹脂フィルムの厚みが２〜１５０μｍの範囲内である請求項１〜６のいずれか１項に記載の樹脂フィルムの製造方法。

【請求項8】

絶縁樹脂層と、前記絶縁樹脂層の少なくとも一方の面に積層された金属層と、を備えた金属張積層板の製造方法であって、
前記絶縁樹脂層の少なくとも１層が請求項１〜７のいずれか１項に記載の方法によって製造された樹脂フィルムからなることを特徴とする金属張積層板の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、例えば回路基板材料として有用な樹脂フィルム及び金属張積層板の製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

フレキシブル回路基板（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｐｒｉｎｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ Ｂｏａｒｄ；ＦＰＣ）は、限られたスペースでも立体的かつ高密度の実装が可能であるため、電子機器の可動部分の配線や、ケーブル、コネクター等の部品にその用途が拡大し、多くの分野の機器へ搭載されている。それに伴い、ＦＰＣが使用される環境の多様化が進み、要求される性能も高度化している。例えば、ディスプレイ等の用途においては高透明性、車載向けの用途ではより高い耐熱性と、放熱性、熱伝導性が求められている。

【0003】

ＦＰＣの絶縁層に広く用いられる樹脂として、耐熱性に優れた液晶ポリマー（Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｐｏｌｙｍｅｒ；ＬＣＰ）やポリイミド、フッ素樹脂等が挙げられる。一般に、ＬＣＰは汎用溶剤に溶けにくい、溶融粘度が低い、分子の交絡が少なく極端に配向しやすいという特徴があり、フィルムとしての生産や加工の点で扱いにくい。さらに、銅箔との接着性やフィルム化したときの厚み方向の熱膨張係数（ＣＴＥ）が大きいことも問題となることがある。ポリイミドは、吸湿による特性の変動、フッ素樹脂は高いＣＴＥとコストがボトルネックとなる。

【0004】

前記の様な各ポリマーの課題は、その化学構造や製造条件等の改良のみでは対応が難しい領域に到達しつつある。例えばＣＴＥを下げると接着性が悪化し、接着性を上げると耐熱性が低下するなど、要求される物性がトレード・オフの関係になるという場面に直面する。

【0005】

ポリマーの特性を改善する手法の一つに、２種以上のポリマー成分を含有するポリマーアロイの形成が知られている。ポリマーアロイとは広義に高分子多成分系材料を指し、ブロック重合法やグラフト重合法から物理的ブレンド方法などが挙げられる。
例えば特許文献１では高弾性率なポリイミドにポリベンズイミダゾールをブレンドすることで弾性率を維持したまま接着性が向上することを報告している。また特許文献２では優れた機械特性、耐熱性、ガス遮断性、高温での寸法安定性を有するポリエチレンナフタレートへ少量の縮合系ＬＣＰをブレンドすることで前記特性を損なうことなく耐候性を改善する例がある。

【0006】

回路基板材料の分野においてもポリマーアロイ形成による高性能化が報告されている。特許文献３では熱硬化性のエポキシ樹脂へＬＣＰをブレンドすることで電気的な特性を向上させたプリプレグを報告している。また、特許文献４では高耐熱性のポリイミドと低吸湿性のフッ素樹脂粒子とを組み合わせたポリイミドフィルムの製造方法を提示している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【特許文献1】特許第５１４５６２７号公報

【特許文献2】特公平６−２８７０号公報

【特許文献3】特許第６２９５０１３号公報

【特許文献4】特許第６３８７１８１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

上記の様に、ポリマーアロイによるポリマーの特性改善は広い分野で活用されている。一般に異種のポリマー同士の多くは相溶性、混和性を示さず、相分離する。一方で、溶剤に溶解した液状ポリマーへ前記溶剤に不溶なポリマー粒子を分散させた場合は、界面活性剤等の分散安定剤を用いたり、分散液の粘度を上げて粒子の移動速度を下げたりすることで分散させることが可能である。前記分散液を基材へ塗膜し、熱処理することで、均一なポリマーブレンドフィルムが得られる。その際、フィルムに残る溶剤等の低分子量体を減らすことで、電気的、機械的及び熱的特性を向上／担保するため、高温を必要とすることがある。しかしながら、ポリマー粒子が融点を有する場合には、熱処理中に融点を超えると、溶融した粒子の液滴同士でコアレッセンスが生じ、凝集粒として斑点状に現れ外観を損ねる。さらにフィルム表面へ突起として現れると、巻き取った際や積層時に健常箇所への転写が生じたり、コーター欠損等、設備が破損したりする。

【0009】

従って、本発明の目的は、樹脂フィルム中に分散された異種の有機ポリマー粒子の過度な凝集が抑制されており、外観及び表面平滑性が良好な樹脂フィルムを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明の樹脂フィルムの製造方法は、溶剤と、前記溶剤に溶解する可溶性樹脂と、前記溶剤に不溶な有機ポリマー粒子と、を含む樹脂組成物を準備する工程と、前記樹脂組成物を熱処理し、前記可溶性樹脂の固化物中に前記有機ポリマー粒子を含有する樹脂フィルムを得る工程と、を含んでいる。
本発明の樹脂フィルムの製造方法は、前記熱処理が、下記の条件（ａ）及び（ｂ）；
（ａ）前記有機ポリマー粒子の融点をＴｘ［単位；℃］とし、前記熱処理の最高到達温度をＴｍａｘ［単位；℃］とした場合、下記式（１）の関係にあること；
Ｔｘ≦Ｔｍａｘ ・・・（１）
（ｂ）前記熱処理におけるＴｍａｘまでの昇温過程で温度がＴｘ−４０℃のときに前記樹脂組成物に含まれる揮発成分の含有量が、前記樹脂組成物の不揮発成分の含有量に対して０．５重量％以下であること；
を満たすものである。

【0011】

本発明の樹脂フィルムの製造方法は、前記可溶性樹脂が、ポリアミド、ポリイミド、ポリエステル、ポリエーテル及びそれらの前駆体から選ばれる少なくとも１種であってもよい。

【0012】

本発明の樹脂フィルムの製造方法は、前記有機ポリマー粒子が液晶ポリマーからなるものであってもよい。

【0013】

本発明の樹脂フィルムの製造方法は、前記Ｔｘが２４０℃以上であってもよい。

【0014】

本発明の樹脂フィルムの製造方法は、前記溶剤の沸点が前記Ｔｘ以下であってもよい。

【0015】

本発明の樹脂フィルムの製造方法は、前記樹脂フィルムの不揮発性成分に対する前記有機ポリマー粒子の占める割合が５〜９９体積％の範囲内であってもよい。

【0016】

本発明の樹脂フィルムの製造方法は、前記樹脂フィルムの厚みが２〜１５０μｍの範囲内であってもよい。

【0017】

本発明の金属張積層板の製造方法は、絶縁樹脂層と、前記絶縁樹脂層の少なくとも一方の面に積層された金属層と、を備えた金属張積層板の製造方法であって、
前記絶縁樹脂層の少なくとも１層が、上記いずれかに記載の方法によって製造された樹脂フィルムからなる。

【発明の効果】

【0018】

本発明方法によれば、条件（ａ）及び（ｂ）を満たすことによって、樹脂フィルム中に分散された異種の有機ポリマー粒子の過度な凝集が抑制されており、外観及び表面平滑性が良好な樹脂フィルムを製造することができる。本発明方法により製造された樹脂フィルムは、各種の電子機器におけるＦＰＣ等の回路基板材料として好適に用いることができる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】実施例１で作製した銅張積層板の樹脂層の外観写真である。

【図2】実施例１で作製した銅張積層板の樹脂層の断面写真である。

【図3】比較例１で作製した銅張積層板の樹脂層の外観写真である。

【発明を実施するための形態】

【0020】

以下、本発明の実施の形態について説明する。

【0021】

本発明の実施の形態に係る樹脂フィルムの製造方法は、樹脂組成物を準備する工程（工程１）と、この樹脂組成物を熱処理し、有機ポリマー粒子を含有する樹脂フィルムを得る工程（工程２）を含んでいる。

【0022】

［工程１（樹脂組成物を準備する工程）］
本工程では、溶剤と、溶剤に溶解する可溶性樹脂と、溶剤に不溶な有機ポリマー粒子と、を含む樹脂組成物を準備する。

【0023】

＜溶剤＞
溶剤としては、例えば、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド（ＤＭＡｃ）、Ｎ，Ｎ−ジエチルアセトアミド、Ｎ−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）、２−ブタノン、ジメチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）、ヘキサメチルホスホルアミド、Ｎ−メチルカプロラクタム、硫酸ジメチル、シクロヘキサノン、ジオキサン、テトラヒドロフラン、ジグライム、トリグライム、クレゾール、アセトン、メチルイソブチルケトン等の有機溶媒が挙げられる。これらの溶剤を２種以上併用することもでき、更にはキシレン、トルエンのような芳香族炭化水素の併用も可能である。溶剤の含有量としては特に制限されるものではないが、樹脂組成物における固形分濃度が５〜５０重量％程度になるような使用量に調整して用いることが好ましい。

【0024】

＜可溶性樹脂＞
可溶性樹脂としては、上記の溶剤に可溶性の材質であれば特に制限はないが、高耐熱性であり、かつ有機ポリマー粒子の融点を超える温度での加熱が可能な樹脂であることが好ましい。有機ポリマー粒子の融点以上に加熱することで、有機ポリマー粒子が溶融流動し、樹脂フィルムのマトリクス樹脂の空隙を埋めることができる。そのような樹脂として、例えばポリアミド、ポリイミド、ポリエステル、ポリエーテル又はそれらの前駆体樹脂が好ましく、特に、イミド化のために４００℃程度の加熱を行うことが多いポリイミドの前駆体であるポリアミド酸が好ましい。可溶性樹脂は一種類に限らず、二種以上を混合して用いてもよい。

【0025】

［ポリアミド］
ポリアミドは、特に限定されるものではなく、骨格内にアミド結合（−ＣＯ−ＮＨ−）を有するポリマーである。このようなポリアミドは、ラクタムの開環反応や、ジアミン成分とジカルボン酸誘導体との重合、及びアミノ基を有するカルボン酸誘導体からの重合等、公知の方法で製造することができる。耐熱性の観点から、芳香族骨格で構成されるポリアミド（アラミドとも総称される）が好ましい。

【0026】

［ポリイミド］
ポリイミドは、下記一般式（１）で表されるイミド基を有するポリマーである。さらにアミド基やエーテル結合を有する場合にはポリアミドイミドやポリエーテルイミドと呼称されることがあるが、本明細書では、これらを総じてポリイミドと記載する。このようなポリイミドは、マレイミド成分とジアミン成分との付加重合させる方法や、ビスマレイミドと芳香族シアン酸エステルを架橋させる方法、ジアミン成分と酸二無水物成分とを実質的に等モル使用し、有機極性溶媒中で重合させる公知の方法によって製造することができる。この場合、粘度を所望の範囲とするために、ジアミン成分に対する酸二無水物成分のモル比を調整してもよく、その範囲は、例えば０．９８〜１．０３のモル比の範囲内とすることが好ましい。

【0027】

【化1】

【0028】

一般式（１）において、Ａｒ_１はテトラカルボン酸二無水物残基を含む酸無水物から誘導される４価の基を示し、Ｒ_２はジアミンから誘導される２価のジアミン残基を示し、ｎは１以上の整数である。

【0029】

酸二無水物としては、例えば、Ｏ（ＯＣ）_２−Ａｒ_１−（ＣＯ）_２Ｏによって表される芳香族テトラカルボン酸二無水物が好ましく、下記芳香族酸無水物残基をＡｒ_１として与えるものが例示される。

【0030】

【化2】

【0031】

酸二無水物は、単独で又は２種以上混合して用いることができる。これらの中でも、ピロメリット酸二無水物（ＰＭＤＡ）、３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物（ＢＰＤＡ）、３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物（ＢＴＤＡ）、３，３’，４，４’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物（ＤＳＤＡ）、及び４，４’−オキシジフタル酸二無水物（ＯＤＰＡ）から選ばれるものを使用することが好ましい。

【0032】

ジアミンとしては、例えば、Ｈ_２Ｎ−Ｒ_２−ＮＨ_２によって表されるジアミンが好ましく、下記ジアミン残基をＲ_２として与えるジアミンが例示される。

【0033】

【化3】

【0034】

これらのジアミンの中でも、ジアミノジフェニルエーテル（ＤＡＰＥ）、２，２’−ジメチル−４，４’−ジアミノビフェニル（ｍ−ＴＢ）、パラフェニレンジアミン（ｐ−ＰＤＡ）、１，３−ビス（４−アミノフェノキシ）ベンゼン（ＴＰＥ−Ｒ）、１，３−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼン（ＡＰＢ）、１，４−ビス（４−アミノフェノキシ）ベンゼン（ＴＰＥ−Ｑ）、２，２−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］プロパン（ＢＡＰＰ）、及び２，２−ビス（トリフルオロメチル）ベンジジン（ＴＦＭＢ）が好適なものとして例示される。

【0035】

合成されたポリアミド酸は、通常、反応溶媒溶液として使用することが有利であるが、必要により濃縮、希釈又は他の有機溶媒に置換して樹脂組成物を形成することができる。ポリアミド酸をイミド化させる方法は、特に制限されず、例えば前記溶媒中で、８０〜４００℃の範囲内の温度条件で１〜２４時間かけて加熱するといった熱処理が好適に採用される。

【0036】

［ポリエステル］
ポリエステルは、特に限定されるものではなく、骨格内にエステル結合（−ＣＯＯ−）を有するポリマーである。このようなポリエステルは、ジオール類とジカルボン酸誘導体からの重合等、公知の方法で製造することができる。耐熱性の観点から、芳香族骨格で構成されるポリエステルが好ましい。

【0037】

［ポリエーテル］
ポリエーテルは、特に限定されるものではなく、骨格内にエーテル結合（−Ｏ−）を有するポリマーである。このようなポリエーテルは、フェノール類のラジカル重合等、公知の方法で製造することができる。耐熱性の観点から、芳香族骨格で構成されるポリエーテルが好ましい。

【0038】

［前駆体］
前駆体とは、ある物質について、その物質が生成する前の段階の物質のことを指し、本明細書においては樹脂の前駆体として、オリゴマー体も含める。前駆体を用いることが好ましい場合としては、溶剤へ不溶なポリマーにおいても、その前駆体は可溶である場合などが挙げられる。具体的には全芳香族ポリイミドの多くは汎用溶剤へ不溶であるが、その前駆体のポリアミド酸はアミド系溶剤に容易に溶解する。また、ポリエステルは、高分子量体では溶剤に不溶な場合でもそのオリゴマー体は溶剤可溶性と成り得る。一般に、オリゴマー体とは重合度の低いポリマーを指し、本明細書においては、反復数が２〜５０の範囲内で分子量が５０００以下であるものを指す。オリゴマー体は活性点を持つ場合、加熱等のエネルギーを与えること、溶液濃度を上昇させること、活性化剤や架橋剤を添加することによって、反応し、重合度を上げることが可能である。

【0039】

＜触媒、硬化剤及び硬化促進剤＞
一実施形態に係る樹脂組成物は、硬化剤を含んでも良い。硬化剤としては特に限定されず樹脂に応じた硬化剤を用いることができる。例えば、イミダゾール化合物、酸無水物、ジシアンジアミド、ヒドラジド、アミン付加物、スルホニウム塩、ホルムアルデヒド、ケチミン、三級アミンが例示される。

【0040】

硬化剤の含有量は、特に限定されず、用いる樹脂成分及び硬化条件に応じて適宜選択することができるが、例えば、上述の可溶性樹脂に対して、５〜１１０重量％であることが好ましく、２０〜９０重量％であることがより好ましい。

【0041】

また、上述の硬化剤と組み合わせて又は単独で、硬化促進剤を用いることもできる。硬化促進剤としては、特に限定されず、例えば、有機ホスフィン化合物等を挙げることができる。

【0042】

＜有機ポリマー粒子＞
有機ポリマー粒子の材質としては、融点を有し、上記の溶剤に不溶な材質の樹脂あれば特に制限はないが、例えば、液晶ポリマー、フッ素系樹脂、オレフィン系樹脂、ポリエステル、ポリフェニレンエーテル、ポリエーテルケトン、ポリフェニレンスルフィドなどが好ましく、特に樹脂フィルムの低誘電正接化及び低吸湿化に有効であるという観点から、液晶ポリマーが好ましい。液晶ポリマーは、誘電特性の周波数依存性がほとんどなく、非常に優れた誘電特性を有するとともに、難燃性向上にも寄与することから、これを配合することによって、樹脂フィルムの誘電特性と難燃性を改善することができる。樹脂フィルムの誘電特性を改善する目的で配合する場合、液晶ポリマー粒子は、単体として、１０ＧＨｚにおける比誘電率が、好ましくは２．１〜４．０の範囲内、より好ましくは、２．８〜３．８の範囲内であり、１０ＧＨｚにおける誘電正接が、好ましくは０．００３０以下、より好ましくは０．００２０以下、さらに好ましくは０．００１５以下であるものを用いることがよい。液晶ポリマーの融点は、液晶転移温度や液晶化温度と称される場合があるが、本明細書においては、まとめて融点とした。前記融点は、２２０℃以上が好ましい。より好ましくは２５０℃以上、さらに好ましくは２９０℃以上が好ましい。融点が上記範囲を下回ると電子機器等の製造フローにて融解し、特性の変化をきたすおそれがある。

【0043】

液晶ポリマーとしては、特に限定されるものではないが、例えば、以下の（１）〜（４）に分類される化合物及びその誘導体から導かれる公知のサーモトロピック液晶ポリエステル及びポリエステルアミドを挙げることができる。
（１）芳香族又は脂肪族ジヒドロキシ化合物
（２）芳香族又は脂肪族ジカルボン酸
（３）芳香族ヒドロキシカルボン酸
（４）芳香族ジアミン、芳香族ヒドロキシアミン又は芳香族アミノカルボン酸

【0044】

これらの原料化合物から得られる液晶ポリマーの代表例として、下記式（ａ）〜（ｊ）に示す構造単位から選ばれる２つ以上の組み合わせを有する共重合体であって、式（ａ）で示す構造単位又は式（ｅ）で示す構造単位のいずれかを含む共重合体が好ましく、特に、式（ａ）で示す構造単位と式（ｅ）で示す構造単位とを含む共重合体がより好ましい。また、液晶ポリマー中の芳香環が多くなるほど、誘電特性と難燃性を向上させる効果が期待できることから、上記（１）として芳香族ジヒドロキシ化合物を、上記（２）として芳香族ジカルボン酸を含むものが好ましい。

【0045】

【化4】

【0046】

また、有機ポリマー粒子の形状は限定されず、例えば、球状、不定形、小板状、繊維状（ミルドファイバー、チョップドファイバー、カットファイバー等）が例示される。有機ポリマー粒子は、平均粒子径Ｄ_５０が６〜２０μｍの範囲内であることが好ましく、８〜１５μｍの範囲内であることがより好ましい。ここで、平均粒子径Ｄ_５０は、レーザ回折散乱法による体積基準の粒度分布測定によって得られる頻度分布曲線における累積値が５０％となる値である。平均粒子径Ｄ_５０がこの範囲内であれば、樹脂組成物によって樹脂フィルムを形成したときの表面平滑性を悪化させることがなく、外観良好な樹脂フィルムが得られる。

【0047】

有機ポリマー粒子は、市販品を適宜選定して用いることができる。例えば、液晶ポリマー粒子の場合、低誘電液晶性高分子として、上野製薬社製、ＵＥＮＯ ＬＣＰ（登録商標）、セラニーズジャパン社製、ＶＥＣＴＲＡ／ＺＥＮＩＴＥ（登録商標）、ポリプラスチックス社製、ラぺロス（登録商標）、東レ社製、シベラス（登録商標）、ＪＸＴＧエネルギー社製、ザイダー（登録商標）などを好ましく使用できる。さらに、有機ポリマー粒子として２種以上の異なる有機ポリマー粒子を併用してもよい。

【0048】

＜任意成分＞
樹脂組成物には、必要に応じて任意成分として、上記有機ポリマー粒子以外の樹脂成分、難燃剤、架橋剤、無機フィラー、可塑剤、カップリング剤、顔料などを適宜配合することができる。

【0049】

＜粘度＞
樹脂組成物の粘度は、樹脂組成物を塗工する際のハンドリング性を高め、均一な厚みの塗膜を形成しやすい粘度範囲として、例えば３０００ｃｐｓ〜１０００００ｃｐｓの範囲内とすることが好ましく、５０００ｃｐｓ〜５００００ｃｐｓの範囲内とすることがより好ましい。上記の粘度範囲を外れると、コーター等による塗工作業の際にフィルムに厚みムラ、スジ等の不良が発生し易くなる。

【0050】

＜樹脂組成物の調製＞
樹脂組成物は、例えば、溶剤を用いて可溶性樹脂の溶液を作成し、そこに有機ポリマー粒子を添加して均一に混合することによって調製できる。一回で有機ポリマー粒子を全量投入してもよいし、数回分けて少しずつ添加してもよい。また、あらかじめ有機ポリマー粒子を分散させた溶剤を用いて、可溶性樹脂の溶液を調製してもよい。

【0051】

［工程２（樹脂フィルムを得る工程）］
工程２では、工程１で得られた樹脂組成物を熱処理し、可溶性樹脂の固化物中に有機ポリマー粒子を含有する樹脂フィルムを得る。なお、「固化物」には、硬化物も含まれる。
本工程２で樹脂組成物を熱処理して樹脂フィルムを得る方法は、特に限定されるものではなく公知の手法を採用することができる。ここでは、樹脂組成物中の可溶性樹脂がポリアミド酸である場合を例に挙げて説明する。

【0052】

まず、樹脂組成物を任意の支持基材上に直接流延塗布して塗布膜を形成する。次に、塗布膜を１５０℃以下の温度である程度溶剤を乾燥除去する。その後、塗布膜に対し、ポリアミド酸のイミド化のために、例えば１００〜４００℃、好ましくは１３０〜３８０℃の温度範囲で５〜３０分間程度の熱処理を行う。このようにして支持基材上にポリイミドの樹脂フィルムを形成することができる。
樹脂フィルムを２層以上のポリイミド層によって形成する場合、第一のポリアミド酸の樹脂組成物を塗布、乾燥したのち、第二のポリアミド酸の樹脂組成物を塗布、乾燥する。それ以降は、同様にして第三のポリアミド酸の樹脂組成物、次に、第四のポリアミド酸の樹脂組成物、・・・というように、ポリアミド酸の樹脂組成物を、必要な回数だけ、順次塗布し、乾燥する。その後、まとめて熱処理を行って、イミド化を行うことがよい。イミド化のための熱処理温度が１００℃より低いとポリイミドの脱水閉環反応が十分に進行せず、反対に４００℃を超えると、ポリイミド層が劣化するおそれがある。
また、イミド化した任意のポリイミド層に適切な表面処理等を行うことで、さらに重ねて樹脂組成物の塗布、乾燥及びイミド化の工程を経て、新たに層を重ねることができる。その場合、途中工程のイミド化は完結させる必要はなく、最終工程にてまとめてイミド化を完結させることができる。
また、イミド化した任意のポリイミド層は、別に形成した樹脂フィルムと加熱圧着することができる。
なお、樹脂フィルムは支持基材付きの状態でも良い。

【0053】

また、ポリイミドの樹脂フィルムを形成する別の例を挙げる。
まず、任意の支持基材上に、樹脂組成物を流延塗布してフィルム状成型する。このフィルム状成型物を、支持基材上で加熱乾燥することにより自己支持性を有するゲルフィルムとする。ゲルフィルムを支持基材より剥離した後、例えば１００〜４００℃、好ましくは１３０〜３８０℃の温度範囲で５〜３０分間程度熱処理し、ポリアミド酸をイミド化させてポリイミドの樹脂フィルムとする。

【0054】

工程２における熱処理は、下記の条件（ａ）及び（ｂ）を満たすように実施する。

【0055】

＜条件（ａ）＞
有機ポリマー粒子の融点をＴｘ［単位；℃］とし、熱処理の最高到達温度をＴｍａｘ［単位；℃］とした場合、下記式（１）の関係にあること。
Ｔｘ≦Ｔｍａｘ ・・・（１）
条件（ａ）を満たす場合、有機ポリマー粒子の融点以上に加熱することで、有機ポリマー粒子が溶融流動し、樹脂フィルムのマトリクス樹脂の空隙を埋めることができる。ここで、Ｔｘは、溶剤の沸点以上であることが好ましく、２４０℃以上であることがより好ましい。Ｔｘが溶剤の沸点以上であることによって、溶剤を効率的に系外に排出できる。換言すれば、溶剤は、沸点がＴｘ以下であるものを用いることが好ましい。

【0056】

条件（ａ）を満たす有機ポリマー粒子と可溶性樹脂の好ましい組み合わせとして、例えば、有機ポリマー粒子が液晶ポリマー粒子であり、可溶性樹脂がポリアミド酸である場合、液晶ポリマー粒子の融点ＴｘはＩ型が２８０℃超、ＩＩ型が２２０℃以上であり、ポリアミド酸をイミド化するための熱処理の最高到達温度Ｔｍａｘはおよそ３８０〜４００℃程度である。

【0057】

＜条件（ｂ）＞
熱処理におけるＴｍａｘまでの昇温過程で温度がＴｘ−４０℃のときに樹脂組成物に含まれる揮発成分の含有量が、樹脂組成物の不揮発成分の含有量に対して０．５重量％以下であること。
条件（ｂ）を満たすことによって、熱処理の昇温速度や時間に拘わらず、Ｔｍａｘまでの昇温過程で、温度がＴｘに到達するまでに溶剤の残存量を十分に低減しておくことができる。その結果、残溶剤によって生じる複数の有機ポリマー粒子の流動による凝集及び融着を抑制できる。また、マトリクス樹脂と有機ポリマー粒子との間の空隙の生成を抑えることができる。なお、条件（ｂ）を満たす限りにおいて、熱処理における昇温速度や時間は任意に調節できる。

【0058】

［樹脂フィルム］
本実施の形態の樹脂フィルムは、上記方法によって製造されたものである。可溶性樹脂がポリアミド酸である場合、樹脂フィルムのマトリクス樹脂はイミド化されたポリイミドであり、その中に有機ポリマー粒子が分散された状態となっている。

【0059】

＜配合量＞
樹脂フィルムの不揮発性成分に対するに対する有機ポリマー粒子の占める割合は、使用目的に応じて適宜設定できるが、例えば５〜９９体積％の範囲内であることが好ましく、２０〜８０体積％の範囲内がより好ましい。有機ポリマー粒子の体積比率が５体積％未満では、配合の効果（例えば、液晶ポリマー粒子であれば誘電特性の改善効果）が不十分となる場合があり、９９体積％を超えると樹脂フィルムの形成が困難になったり、樹脂フィルムが脆弱化したりする場合がある。なお、樹脂フィルムにおける有機ポリマー粒子の体積比率は、三次元透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）によるイメージング像から算出することもできるし、強アルカリ溶解による分解分析や熱分解分析法によって得られる重量比から換算して求めることもできる、また、Ｘ線回折による相体積比率計測、断面ＳＥＭ画像の面積比を有機ポリマー粒子の真球度で換算することで求めることができる。

【0060】

＜厚み＞
樹脂フィルムの厚みは、使用目的に応じて適宜設定できるが、例えば２〜１５０μｍの範囲内が好ましく、１０〜１２０μｍの範囲内であることがより好ましい。樹脂フィルムの厚みが２μｍに満たないと、樹脂フィルムの製造等における搬送時にシワが入るなどの不具合が生じるおそれがあり、一方、樹脂フィルムの厚みが１５０μｍを超えると樹脂フィルムの生産性低下の虞がある。

【0061】

樹脂フィルムは、フィルム（シート）状であればよく、任意の基材、例えば銅箔、ガラス板、ポリイミド系フィルム、ポリアミド系フィルム、ポリエステル系フィルムなどに積層された状態であってもよい。

【0062】

［金属張積層板］
本実施の形態の金属張積層板は、絶縁樹脂層と、この絶縁樹脂層の少なくとも一方の面に積層された金属層と、を備えた金属張積層板であり、絶縁樹脂層の少なくとも１層が上記方法によって製造された樹脂フィルムからなる。金属張積層板は、絶縁樹脂層の片面側のみに金属層を有する片面金属張積層板であってもよいし、絶縁樹脂層の両面に金属層を有する両面金属張積層板であってもよい。

【0063】

＜絶縁樹脂層＞
絶縁樹脂層は単層又は複数層から構成され、上記樹脂フィルムからなる層を含んでいる。例えば、上記樹脂フィルムが、機械特性や熱物性を担保するための絶縁樹脂層の主たる層としての非熱可塑性ポリイミド層を形成していてもよい。また、上記樹脂フィルムが、銅箔などの金属層との接着強度を担う接着剤層としての熱可塑性ポリイミド層を形成していてもよい。なお、「主たる層」とは、絶縁樹脂層の総厚みの５０％以上を占める層を意味する。

【0064】

樹脂フィルムを絶縁樹脂層とする金属張積層板を製造する方法としては、例えば、樹脂フィルムに直接、又は任意の接着剤を介して金属箔を加熱圧着する方法や、金属蒸着等の手法によって樹脂フィルムに金属層を形成する方法などを挙げることができる。なお、両面金属張積層板は、例えば、片面金属張積層板を形成した後、互いにポリイミド層を向き合わせて熱プレスによって圧着し形成する方法や、片面金属張積層板のポリイミド層に金属箔を圧着し形成する方法等により得ることができる。

【0065】

＜金属層＞
金属層の材質としては、特に制限はないが、例えば、銅、ステンレス、鉄、ニッケル、ベリリウム、アルミニウム、亜鉛、インジウム、銀、金、スズ、ジルコニウム、タンタル、チタン、鉛、マグネシウム、マンガン及びこれらの合金等が挙げられる。これらの中でも、特に銅又は銅合金が好ましい。金属層は、金属箔からなるものであってもよいし、フィルムに金属蒸着したもの、ペースト等を印刷したものであってもよい。また、金属箔でも金属板でも使用可能であり、銅箔若しくは銅板が好ましい。

【0066】

金属層の厚みは、金属張積層板の使用目的に応じて適宜設定されるため特に限定されないが、例えば５μｍ〜３ｍｍの範囲内が好ましく、１２μｍ〜１ｍｍの範囲内がより好ましい。金属層の厚みが５μｍに満たないと、金属張積層板の製造等における搬送時にシワが入るなどの不具合が生じるおそれがある。反対に金属層の厚みが３ｍｍを超えると硬くて加工性が悪くなる。

【実施例】

【0067】

以下に実施例を示し、本発明の特徴をより具体的に説明する。ただし、本発明の範囲は、実施例に限定されない。なお、以下の実施例において、特にことわりのない限り各種測定、評価は下記によるものである。

【0068】

［粘度の測定］
Ｅ型粘度計（ブルックフィールド社製、商品名；ＤＶ−ＩＩ＋Ｐｒｏ）を用いて、２５℃における粘度を測定した。トルクが１０％〜９０％になるよう回転数を設定し、測定を開始してから１分経過後、粘度が安定した時の値を読み取った。

【0069】

［残揮発成分量の測定］
各実施例及び比較例に示す残揮発成分量は熱重量示差熱分析装置（ＴＧ−ＤＴＡ、ＳＩＩ社製、商品名；ＥＸＳＴＡＲ６０００）を用い、３０〜４００℃までの温度範囲を１０℃／ｍｉｎで昇温した時の重量減少曲線から、１４０℃から３６０℃までの重量減少量を求め、樹脂フィルム中の不揮発性成分量と比較して残揮発性分量とした。

【0070】

［融点の測定］
示差走査熱量分析装置（ＤＳＣ、ＳＩＩ社製、商品名；ＤＳＣ−６２００））を用いて、不活性ガス雰囲気中、室温から４５０℃まで１．５℃／ｍｉｎで昇温し、測定を行った。

【0071】

［粒径の測定方法］
レーザ回折式粒度分布測定装置（マルバーン社製、商品名；Ｍａｓｔｅｒ Ｓｉｚｅｒ ３０００）を用いて、レーザ回折・散乱式測定方式による粒子径の測定を行った。

【0072】

［真比重の測定］
連続自動粉体真密度測定装置（セイシン企業社製、商品名；ＡＵＴＯ ＴＲＵＥ ＤＥＮＳＥＲＭＡＴ‐７０００）を用いて、ピクノメーター法（液相置換法）による真比重の測定を行った。

【0073】

［外観評価］
目視で確認し、Ａ４サイズの面内に０．２ｍｍ以上の斑点模様もしくは突起が１０個未満を「良」、２０個未満を「可」、２０個以上を「不可」とした。

【0074】

［比誘電率及び誘電正接の測定］
ベクトルネットワークアナライザ（Ａｇｉｌｅｎｔ社製、商品名；ベクトルネットワークアナライザＥ８３６３Ｃ）およびＳＰＤＲ共振器を用いて、周波数１０ＧＨｚにおける樹脂フィルム（硬化後の樹脂フィルム）の比誘電率（ε１）および誘電正接（Ｔａｎδ１）を測定した。なお、測定に使用した樹脂フィルムは、温度；２４〜２６℃、湿度；４５〜５５％の条件下で、２４時間放置したものである。

【0075】

［断面観察］
１）測定用サンプルの作製
銅張積層板（ＴＤ；１０ｍｍ×ＭＤ；１０ｍｍ）の、サンプルの観察面（厚み方向の断面）がＭＤ方向になるように、エポキシ系樹脂でサンプルを包埋後、回転板型研磨機を用いて、複数のエメリー紙（♯１２００まで）及びバフ研磨（ダイヤモンド粒子ペーストの１μｍまで）並びに薬液による化学研磨を行い、測定用サンプルを作製した。
２）測定用サンプルの観察
測定用サンプルの観察面を、走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いて、３，０００倍の倍率で観察した。

【0076】

合成例及び比較例、実施例に用いた略号は、以下の化合物を示す。
ＰＭＤＡ：ピロメリット酸二無水物
ＢＰＤＡ：３，３’，４，４’‐ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
ＢＡＰＰ：２，２−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］プロパン
ｍ‐ＴＢ：２，２’‐ジメチル‐４，４’‐ジアミノビフェニル
ＤＭＡｃ：Ｎ，Ｎ‐ジメチルアセトアミド
フィラー１：液晶ポリマー粒子、不定形粉末状、融点（Ｔｘ）：３２０℃、真比重；１．４、メジアン径ｄ_５０；１０μｍ、ｄ_９５：４５μｍ、ｄ_１００：５０μｍ
フィラー２：液晶ポリマー粒子、不定形粉末状、融点（Ｔｘ）：３２０℃、真比重；１．４、メジアン径ｄ_５０：５μｍ、ｄ_９５：２３μｍ、ｄ_１００：２５μｍ

【0077】

（合成例１）
３００ｍｌのセパラブルフラスコに、１３ｇのｍ−ＴＢ（６３ｍｍｏｌ）、６．４ｇのＢＡＰＰ（１７ｍｍｏｌ）及び２３０ｇのＤＭＡｃを投入し、室温、窒素気流下で撹拌した。完全に溶解した後、４．３ｇのＰＭＤＡ（２０ｍｍｏｌ）及び２０ｇのＢＰＤＡ（５０ｍｍｏｌ）を添加し、室温で１８時間撹拌してポリアミド酸溶液１（粘度；２４，０００ｃｐｓ）を得た。

【0078】

（合成例２）
３００ｍｌのセパラブルフラスコに、２４ｇのＢＡＰＰ（６０ｍｍｏｌ）及び２３０ｇのＤＭＡｃを投入し、室温、窒素気流下で撹拌した。完全に溶解した後、６．５ｇのＰＭＤＡ（３０ｍｍｏｌ）及び８．７ｇのＢＰＤＡ（３０ｍｍｏｌ）を添加し、室温で１８時間撹拌してポリアミド酸溶液２（粘度；２１，０００ｃｐｓ）を得た。

【0079】

［実施例１］
１４０ｇのポリアミド酸溶液１及び１９ｇのフィラー１を混合し、目視にて一様な溶液となるまで攪拌し、樹脂溶液１（粘度；３４，０００ｃｐｓ、不揮発性成分に対するフィラー１の含有率；５０体積％）を調製した。

【0080】

銅箔（電解銅箔、厚み；１２μｍ）の上に樹脂溶液１を塗布し、１３０℃で３分間乾燥させて樹脂層を形成した。その後１５５℃から２８０℃まで１６分間かけて、段階的に熱処理を行い、さらに連続して２８０℃から３８０℃（Ｔｍａｘ）まで４分間、熱処理を行ってイミド化を完結し、銅張積層板１を調製した。銅張積層板１における樹脂層の表面の外観は良であった。樹脂層表面の外観の写真を図１に示す。また、銅張積層板１における樹脂層の断面観察の写真を図２に示す。
なお、上記熱処理過程における樹脂層の２８０℃時点での残揮発成分量は０．１５重量％であり、熱処理完了後の残揮発成分量は０．０７重量％であった。
銅張積層板１の銅箔をエッチング除去し、樹脂フィルム１（厚み；４５μｍ）を調製した。樹脂フィルム１の比誘電率は３．３２、誘電正接は０．００２４であった。

【0081】

［実施例２］
２８０℃から３８０℃までの熱処理時間を６分とした以外は、実施例１と同様にして、銅張積層板２を調製した。銅張積層板２における樹脂層の表面の外観は良であった。
なお、上記熱処理過程における樹脂層の２８０℃時点での残揮発成分量は０．１５重量％であり、熱処理完了後の残揮発成分量は０．０６重量％であった。
銅張積層板２の銅箔をエッチング除去し、樹脂フィルム２を調製した。

【0082】

［実施例３］
１５５℃から２８０℃までの熱処理時間を１４分とした以外は、実施例１と同様にして、銅張積層板３を調製した。銅張積層板３における樹脂層の表面の外観は可であった。
なお、２８０℃時点での残揮発成分量は０．２３重量％であり、熱処理完了後の残揮発成分量は０．０６重量％であった。銅張積層板３の銅箔をエッチング除去し、樹脂フィルム３を調製した。

【0083】

［実施例４］
１４０ｇのポリアミド酸溶液１及び２．２ｇのフィラー２を混合し、目視にて一様な溶液となるまで攪拌し、樹脂溶液４（粘度；２８，０００ｃｐｓ、不揮発性成分に対するフィラー２の含有率；１０体積％）を調製した。
実施例１と同様にして、銅張積層板４を調製した。銅張積層板４における樹脂層の表面の外観は良であった。
なお、上記熱処理過程における樹脂層の２８０℃時点での残揮発成分量は０．３５重量％であり、熱処理完了後の残揮発成分量は０．０６重量％であった。銅張積層板４の銅箔をエッチング除去し、樹脂フィルム４を調製した。

【0084】

［実施例５］
１４０ｇのポリアミド酸溶液１、１７５ｇのフィラー１及び２０ｇのＤＭＡｃを混合し、目視にて一様な溶液となるまで攪拌し、樹脂溶液５（粘度；５０，０００ｃｐｓ、不揮発性成分に対するフィラー１の含有率；９０体積％）を調製した。
実施例１と同様にして、銅張積層板５を調製した。銅張積層板５における樹脂層の表面の外観は良であった。
なお、上記熱処理過程における樹脂層の２８０℃時点での残揮発成分量は０．１０重量％であり、熱処理完了後の残揮発成分量は０．０３重量％であった。銅張積層板５の銅箔をエッチング除去し、樹脂フィルム５を調製した。

【0085】

［実施例６］
２０ｇのポリアミド酸溶液１、１３６ｇのフィラー２及び３０ｇのＤＭＡｃを混合し、目視にて一様な溶液となるまで攪拌し、樹脂溶液６（粘度；５５，０００ｃｐｓ、不揮発性成分に対するフィラー２の含有率；９８体積％）を調製した。
実施例１と同様にして、銅張積層板６を調製した。銅張積層板６における樹脂層の表面の外観は良であった。
なお、上記熱処理過程における樹脂層の２８０℃時点での残揮発成分量は０．０８重量％であり、熱処理完了後の残揮発成分量は０．０２重量％であった。
実施例１と同様に、樹脂フィルム６（厚み；７０μｍ）を調製した。樹脂フィルム６の比誘電率は３．１９、誘電正接は０．０００９であった。

【0086】

［実施例７］
４０ｇのポリアミド酸溶液２及び１４ｇのフィラー２を混合し、目視にて一様な溶液となるまで攪拌し、樹脂溶液７（粘度；４３，０００ｃｐｓ、不揮発性成分に対するフィラー２の含有率；７０体積％）を調製した。
実施例１と同様にして、銅張積層板７を調製した。銅張積層板７における樹脂層の表面の外観は可であった。
なお、上記熱処理過程における樹脂層の２８０℃時点での残揮発成分量は０．２４重量％であり、熱処理完了後の残揮発成分量は０．０３重量％であった。
実施例１と同様に、樹脂フィルム７を調製した。樹脂フィルム７の比誘電率は３．０４、誘電正接は０．００２４であった。

【0087】

（比較例１）
１５５℃から２８０℃までの熱処理時間を１３分とした以外は実施例１と同様にして、銅張積層板８を調製した。銅張積層板８における樹脂層の表面の外観は不可であった。樹脂層表面の外観の写真を図３に示す。
なお、上記熱処理過程における樹脂層の２８０℃時点での残揮発成分量は０．７１重量％であり、熱処理完了後の残揮発成分量は０．０６重量％であった。
銅張積層板８の銅箔をエッチング除去し、樹脂フィルム８を調製した。

【0088】

（比較例２）
１５５℃から２８０℃までの熱処理時間を１２分とした以外は実施例１と同様にして、銅張積層板９を調製した。銅張積層板９における樹脂層の表面の外観は不可であった。
なお、上記熱処理過程における樹脂層の２８０℃時点での残揮発成分量は１．１１重量％であり、熱処理完了後の残揮発成分量は０．０７重量％であった。
銅張積層板９の銅箔をエッチング除去し、樹脂フィルム９を調製した。

【0089】

（比較例３）
実施例４における樹脂溶液４を使用し、１５５℃から２８０℃までの熱処理時間を１２分とした以外は実施例１と同様にして、銅張積層板１０を調製した。銅張積層板１０における樹脂層の表面の外観は不可であった。
なお、上記熱処理過程における樹脂層の２８０℃時点での残揮発成分量は０．５７重量％であり、熱処理完了後の残揮発成分量は０．０７重量％であった。
銅張積層板１０の銅箔をエッチング除去し、樹脂フィルム１０を調製した。

【0090】

（比較例４）
実施例７における樹脂溶液７を使用し、１５５℃から２８０℃までの熱処理時間を１２分とした以外は実施例１と同様にして、銅張積層板１１を調製した。銅張積層板１１における樹脂層の表面の外観は不可であった。
なお、上記熱処理過程における樹脂層の２８０℃時点での残揮発成分量は０．６５重量％であり、熱処理完了後の残揮発成分量は０．０５重量％であった。
銅張積層板１１の銅箔をエッチング除去し、樹脂フィルム１１を調製した。

【0091】

（参考例１）
１５５℃から２８０℃までの熱処理を１３分間とし、最高到達温度を３００℃としたこと以外は、実施例１と同様にして、銅張積層板１２を調製した。銅張積層板１２における樹脂層の表面の外観は良であったが、２８０℃時点での残揮発成分量は０．７０重量％であり、熱処理完了後の残揮発成分量は０．６０重量％であった。
銅張積層板１２の銅箔をエッチング除去し、樹脂フィルム１２（厚み；７０μｍ）を調製した。樹脂フィルム１２の比誘電率は３．２８、誘電正接は０．００２９であった。

【0092】

以上の結果をまとめて表１及び２に示す。

【0093】

【表1】

【0094】

【表2】

【0095】

実施例１〜７の結果から、熱処理においてフィラーの融点よりも低い温度（Ｔｘ−４０℃）での絶縁層の残揮発成分量を０．５重量％以下に制御することで、外観不良が生じないことがわかる。また、参考例１では、熱処理過程における絶縁層の残揮発成分量を制御していないので、熱処理完了後の絶縁層中の揮発成分の残存量が高いことがわかる。

【0096】

以上、本発明の実施の形態を例示の目的で詳細に説明したが、本発明は上記実施の形態に制約されることはなく、種々の変形が可能である。

【図1】

【図2】

【図3】