特開2021-107808(P2021-107808A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2021-107808サブサンプリングに起因した歪みの下での低コヒーレンス光干渉法テクニックを用いた本体と物体の表面との間の分離距離を決定する方法およびシステム
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