特開2021-127478(P2021-127478A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2021-127478イットリウム製スパッタリングターゲットおよびそれを用いた成膜方法
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  • 特開2021127478-イットリウム製スパッタリングターゲットおよびそれを用いた成膜方法 図000008
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