特開2021-131388荷電粒子顕微鏡で使用されるサンプルの特性を判定するためのデバイスおよび方法

発明の名称　荷電粒子顕微鏡で使用されるサンプルの特性を判定するためのデバイスおよび方法

出願人　エフ　イー　アイ　カンパニ　（識別番号 501233536）

　　　　特許公開件数ランキング 450 位（23件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 872 位（8件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2021-131388

公報発行日　2021年9月9

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2021-131388

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