技術分野
走査型電子顕微鏡を用いた複合材料評価方法
要約特許出願時に添付された[要約書]
【課題】本発明の目的は、マトリックス樹脂中における、ドメイン又は粒子の分散状態を正確に把握すると共に、分散性の定量化を行う手段を提供することである。
【解決手段】本発明の目的は、真密度X(g/cm3)のマトリックス樹脂中に、真密度Y(g/cm3)のドメイン又は粒子が分散しており、真密度X−真密度Yの絶対値が0.2g/cm3以上である複合材料における、ドメイン又は粒子の分散状態を、走査型電子顕微鏡によって評価する複合材料評価方法であって、複合材料に対して、エッチング処理及び導電膜形成処理のいずれも行わずに、測定試料表面を形成し、加速電圧10kV以下で電子線を照射し、走査型電子顕微鏡の反射電子検出器から検出される反射電子により測定試料表面の反射電子像を取得し、反射電子像の輝度を画像処理して得られる二値化画像から、マトリックス樹脂とドメイン又は粒子とを区別して分散の状態を画像化することによって達成された。
【選択図】図4
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
しかしながら、蒸着膜越しに試料の表面を観察したときには、樹脂のポリマーアロイ等、共に炭素原子を主とする構成材料については反射電子像の輝度に差がなく、このためミクロドメインや微粒子の分散状態の観察を正確に行うことは困難である。また、ドメインや粒子を定量することはなおさら困難である。
同様に、エッチング処理による表面凹凸形成も、元試料の表面状態そのものを変えてしまうので、ミクロドメインや微粒子の分散状態の観察を正確に行うことは困難であり、同じくドメインや粒子を定量することは困難である。
本発明は、以上の課題を解決するためになされたものであり、その目的は、走査型電子顕微鏡を用いて、反射電子像により観察を行う複合材料評価方法であって、エッチング処理や導電膜形成処理のいずれも行わずに、ドメインや粒子の分散状態を確認でき、また、その定量化をも可能とする複合材料評価方法を提供することを目的とする。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明者らは、課題を解決するために鋭意研究を重ねた。その結果、下記の手段によって目的を解決することができることを見出した。
【発明の効果】
本発明の複合材料評価方法により、マトリックス樹脂中における、ドメイン又は粒子(以下ドメイン等ともいう)の分散状態を正確に把握すると共に、分散性の定量化を行うことができる。
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】実施形態1の反射電子像である。
【図2】図1の画像を画像処理してマトリックスとドメイン等とに分離表示した二値化画像である。
【図3】図1の拡大画像である。
【図4】図2の拡大画像である。
【図5】実施形態2の反射電子像である。
【図6】図5の画像を画像処理してマトリックスとドメイン等とに分離表示した二値化画像である。
【図7】図1の画像の輝度の分布である。
【図8】実施形態3の反射電子像である。
【図9】図8の画像を画像処理してマトリックスとドメイン等1とに分離表示した二値化画像である。
【図10】図8の画像を画像処理してマトリックスと無機フィラー3とに分離表示した二値化画像である。
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