特開2021-151666(P2021-151666A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」

▶ 信越化学工業株式会社の特許一覧 ▶ 株式会社フォーサイトテクノの特許一覧

特開2021-151666走査型縮小投影光学系及びこれを用いたレーザ加工装置