特開2021-169410改善された機械的強度を有する高抵抗率単結晶シリコンインゴット及びウェハ

発明の名称　改善された機械的強度を有する高抵抗率単結晶シリコンインゴット及びウェハ

出願人　グローバルウェーハズ　カンパニー　リミテッド　（識別番号 518112516）

　　　　特許公開件数ランキング 807 位（10件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 728 位（10件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2021-169410

公報発行日　2021年10月28

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2021-169410

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