特開2021-181571化学機械研磨後配合物及び使用方法

発明の名称　化学機械研磨後配合物及び使用方法

出願人　インテグリス・インコーポレーテッド　（識別番号 505307471）

　　　　特許公開件数ランキング 428 位（22件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 348 位（26件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2021-181571

公報発行日　2021年11月25

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2021-181571

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