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インテグリス・インコーポレーテッド

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7554849 ガス流特徴部を有する静電チャック、及び関連する方法 2024年 9月20日
特許 7551788 導電性窒化物膜の核生成のための方法 2024年 9月17日
特許 7543423 基板容器のためのマニホールド 2024年 9月 2日
特許 7536905 有機スズ化合物を調製するための方法 2024年 8月20日
特許 7535662 フォトリソグラフィで使用するための位相シフトレチクル 2024年 8月16日
特許 7529849 基板容器用の膜ディフューザ 2024年 8月 6日
特許 7528208 流体の流れが改善されたフィルタ 2024年 8月 5日
特許 7524472 セルフロックマニホールド及びフィルタ 2024年 7月29日
特許 7520936 基材物品および装置の特性および性能を増強するためのコーティング 2024年 7月23日
特許 7519532 ハードマスクを除去するための方法 2024年 7月19日
特許 7516664 エッチング剤組成物 2024年 7月16日
特許 7514838 バルクプロセスガス精製システムおよび関連する方法 2024年 7月11日
特許 7512378 湿式エッチング湿式エッチング組成物及び方法 2024年 7月 8日
特許 7510937 能動湿式洗浄濾過システム 2024年 7月 4日
特許 7507309 窒化物エッチング剤組成物及び方法 2024年 6月27日

45 件中 1-15 件を表示

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7554849 7551788 7543423 7536905 7535662 7529849 7528208 7524472 7520936 7519532 7516664 7514838 7512378 7510937 7507309

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