特開2021-183602カルボン酸塩、カルボン酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法

発明の名称　カルボン酸塩、カルボン酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法

出願人　住友化学株式会社　（識別番号 2093）

　　　　特許公開件数ランキング 40 位（547件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 59 位（379件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2021-183602

公報発行日　2021年12月2

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2021-183602

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