特開2021-185267蓋及びノズル上の希土類酸化物系コーティング用イオンアシスト蒸着

発明の名称　蓋及びノズル上の希土類酸化物系コーティング用イオンアシスト蒸着

出願人　アプライド　マテリアルズ　インコーポレイテッド　（識別番号 390040660）

　　　　特許公開件数ランキング 43 位（548件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 35 位（547件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2021-185267

公報発行日　2021年12月9

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2021-185267

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