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特開2021-197263マルチ電子ビーム画像取得装置及びマルチ電子ビーム画像取得方法
発明の名称 マルチ電子ビーム画像取得装置及びマルチ電子ビーム画像取得方法
出願人 株式会社ニューフレアテクノロジー （識別番号 504162958）
特許公開件数ランキング 426 位（25件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 701 位（10件）（共同出願を含む）
公報番号 特開-2021-197263
公報発行日 2021年12月27
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-A-2021-197263
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