特開2021-27271荷電粒子線装置および荷電粒子線検査システム

発明の名称　荷電粒子線装置および荷電粒子線検査システム

出願人　株式会社日立ハイテクノロジーズ　（識別番号 501387839）

　　　　特許公開件数ランキング 219 位（149件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 78 位（306件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2021-27271

公報発行日　2021年2月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2021-27271

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