特開2021-38459(P2021-38459A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2021-38459カルコゲン化物膜および膜を含む構造体を堆積させるための方法および装置
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  • 特開2021038459-カルコゲン化物膜および膜を含む構造体を堆積させるための方法および装置 図000003
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  • 特開2021038459-カルコゲン化物膜および膜を含む構造体を堆積させるための方法および装置 図000005
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