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特開2021-46352チャンクポリシリコンまたは粒状ポリシリコンを結晶成長チャンバの中に選択的に供給するためのシステム
発明の名称 チャンクポリシリコンまたは粒状ポリシリコンを結晶成長チャンバの中に選択的に供給するためのシステム
出願人 グローバルウェーハズ カンパニー リミテッド （識別番号 518112516）
特許公開件数ランキング 796 位（10件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 765 位（9件）（共同出願を含む）
出願人 テベク・インターナショナル・カンパニー・リミテッド （識別番号 518058627）
特許公開件数ランキング 14468 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 12296 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特開-2021-46352
公報発行日 2021年3月25
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-A-2021-46352
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