特開2021-46352(P2021-46352A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」

▶ グローバルウェーハズ カンパニー リミテッドの特許一覧 ▶ テベク・インターナショナル・カンパニー・リミテッドの特許一覧

特開2021-46352チャンクポリシリコンまたは粒状ポリシリコンを結晶成長チャンバの中に選択的に供給するためのシステム