特開2021-59530塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法

発明の名称　塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法

出願人　住友化学株式会社　（識別番号 2093）

　　　　特許公開件数ランキング 39 位（566件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 59 位（389件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2021-59530

公報発行日　2021年4月15

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2021-59530

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特開-2021-59530「塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録