特開2021-66621(P2021-66621A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2021-66621シリコンと炭化ケイ素の接合体及びその製造方法
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  • 特開2021066621-シリコンと炭化ケイ素の接合体及びその製造方法 図000003
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