特開2021-77744基板ステージ及び真空処理装置

発明の名称　基板ステージ及び真空処理装置

出願人　株式会社アルバック　（識別番号 231464）

　　　　特許公開件数ランキング 783 位（30件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 527 位（45件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2021-77744

公報発行日　2021年5月20

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2021-77744

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特開-2021-77744「基板ステージ及び真空処理装置」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録