特開2021-90061(P2021-90061A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」

▶ インテグリス・インコーポレーテッドの特許一覧

特開2021-90061窒化ケイ素と比べてp型ドープポリシリコンを選択的にエッチングするための組成物及び方法
<>
< >