特開2021-97240(P2021-97240A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2021-97240炭素ドープケイ素含有膜のための組成物およびそれを用いた方法
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  • 特開2021097240-炭素ドープケイ素含有膜のための組成物およびそれを用いた方法 図000028
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