発明の名称 二相汚染物質除去媒体の組成及び適用
出願人 ラム リサーチ コーポレーション (識別番号 592010081)
特許公開件数ランキング 125 位(242件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 133 位(190件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-5647614
公報発行日 2015年1月7
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5647614
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