特許5657029コーティング装置及び遮蔽プレートを有するコーティング装置の操作方法

発明の名称　コーティング装置及び遮蔽プレートを有するコーティング装置の操作方法

出願人　アイクストロン、エスイー　（識別番号 502010251）

　　　　特許公開件数ランキング 3343 位（5件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1825 位（9件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5657029

公報発行日　2015年1月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5657029

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