特許第5661622号(P5661622)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」

▶ ラム リサーチ コーポレーションの特許一覧

特許5661622プラズマ処理チャンバで用いるための真空ギャップを備えたプラズマ対向プローブ装置
<>
  • 特許5661622-プラズマ処理チャンバで用いるための真空ギャップを備えたプラズマ対向プローブ装置 図000002
  • 特許5661622-プラズマ処理チャンバで用いるための真空ギャップを備えたプラズマ対向プローブ装置 図000003
< >