特許5661622プラズマ処理チャンバで用いるための真空ギャップを備えたプラズマ対向プローブ装置

発明の名称　プラズマ処理チャンバで用いるための真空ギャップを備えたプラズマ対向プローブ装置

出願人　ラム　リサーチ　コーポレーション　（識別番号 592010081）

　　　　特許公開件数ランキング 125 位（244件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 135 位（195件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5661622

公報発行日　2015年1月28

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5661622

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