特許5662340複合型ウエハ領域圧力制御およびプラズマ閉じ込めアセンブリ、プラズマ処理システムとその製造方法

発明の名称　複合型ウエハ領域圧力制御およびプラズマ閉じ込めアセンブリ、プラズマ処理システムとその製造方法

出願人　ラム　リサーチ　コーポレーション　（識別番号 592010081）

　　　　特許公開件数ランキング 125 位（244件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 135 位（195件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5662340

公報発行日　2015年1月28

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5662340

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