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特許5663656リソグラフィ用途において放射線感受性を有する材料のラインを細くする方法
発明の名称 リソグラフィ用途において放射線感受性を有する材料のラインを細くする方法
出願人 東京エレクトロン株式会社 （識別番号 219967）
特許公開件数ランキング 35 位（592件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 20 位（787件）（共同出願を含む）
出願人 ト−キョ−・エレクトロン・アメリカ・インコーポレーテッド （識別番号 505390680）
特許公開件数ランキング 30926 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 25042 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-5663656
公報発行日 2015年2月4
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5663656
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