特許5666991誘導結合プラズマ用アンテナユニットおよび誘導結合プラズマ処理装置

発明の名称　誘導結合プラズマ用アンテナユニットおよび誘導結合プラズマ処理装置

出願人　東京エレクトロン株式会社　（識別番号 219967）

　　　　特許公開件数ランキング 34 位（592件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 19 位（782件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5666991

公報発行日　2015年2月12

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5666991

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-5666991「誘導結合プラズマ用アンテナユニットおよび誘導結合プラズマ処理装置」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録