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特許5670111Ｘ線発生用ターゲット、Ｘ線発生装置、及びＸ線発生用ターゲットの製造方法
発明の名称 Ｘ線発生用ターゲット、Ｘ線発生装置、及びＸ線発生用ターゲットの製造方法
出願人 東京エレクトロン株式会社 （識別番号 219967）
特許公開件数ランキング 34 位（592件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 19 位（782件）（共同出願を含む）
出願人 浜松ホトニクス株式会社 （識別番号 236436）
特許公開件数ランキング 192 位（168件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 119 位（234件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-5670111
公報発行日 2015年2月18
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5670111
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