特許第5670289号(P5670289)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許5670289（Ａｌ，Ｇａ，Ｉｎ）Ｎブールの製造方法、単結晶、マイクロエレクトロニクス・デバイス構造、（Ａｌ、Ｇａ、Ｉｎ）Ｎブール、ウエハおよび部品
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