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特許5670303イオン注入機の基板保持具の劣化判定方法
発明の名称 イオン注入機の基板保持具の劣化判定方法
出願人 信越半導体株式会社 （識別番号 190149）
特許公開件数ランキング 1219 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 1250 位（0件）（共同出願を含む）
出願人 長野電子工業株式会社 （識別番号 591037498）
特許公開件数ランキング 1219 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 1250 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-5670303
公報発行日 2015年2月18
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5670303
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