特許5674759多層膜付き単結晶基板、多層膜付き単結晶基板の製造方法および素子製造方法

発明の名称　多層膜付き単結晶基板、多層膜付き単結晶基板の製造方法および素子製造方法

出願人　並木精密宝石株式会社　（識別番号 240477）

　　　　特許公開件数ランキング 7047 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 2134 位（7件）（共同出願を含む）

出願人　株式会社ディスコ　（識別番号 134051）

　　　　特許公開件数ランキング 40 位（547件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 42 位（485件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5674759

公報発行日　2015年2月25

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5674759

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