特許第5681590号(P5681590)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許5681590スパッタリング用酸化物焼結体ターゲット及びその製造方法並びに前記ターゲットを用いた薄膜の形成方法及び薄膜形成方法
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