特許第5684551号(P5684551)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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5684551ＩＩＩ族窒化物半導体成長用基板、ＩＩＩ族窒化物半導体エピタキシャル基板、ＩＩＩ族窒化物半導体素子およびＩＩＩ族窒化物半導体自立基板、ならびに、これらの製造方法
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